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ICP光譜儀即電感耦合等離子體光譜儀，是根據(jù)處于激發(fā)態(tài)的待測(cè)元素原子回到基態(tài)時(shí)發(fā)射的特征譜線對(duì)待測(cè)元素進(jìn)行分析的方法?？梢钥焖俜治龈鞣N石化產(chǎn)品中常量、微量、痕量元素，可智能調(diào)節(jié)氧氣流量消除積碳影響、抗干擾性強(qiáng)、自動(dòng)化程度高、操作簡便、穩(wěn)定可靠、測(cè)試范圍廣、分析速度快、檢出限低等特點(diǎn)。
ICP光譜儀用于測(cè)定各種物質(zhì)（可溶解于鹽酸、硝酸、氫氟酸等）中的常量、微量、痕量元素的含量。
ICP光譜儀的分析過程主要分三步，即激發(fā)、分光和檢測(cè)。
一、激發(fā)光源使試樣蒸發(fā)汽化，離解或分解為原子狀態(tài)，原子也可能進(jìn)一步電離成離子狀態(tài)。原子及離子在光源中激發(fā)發(fā)光；
二、利用分光器把光源發(fā)射的光色散為按波長排列的光譜；
三、利用光電器件檢測(cè)光譜，按所測(cè)得的光譜波長對(duì)試樣進(jìn)行定性分析，或按發(fā)射光強(qiáng)度進(jìn)行定量分析。
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