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等離子體是由被剝奪部分電子后的原子及原子團(tuán)電離產(chǎn)生的離子化氣體狀物質(zhì)，具有比氣態(tài)、液態(tài)、固態(tài)物質(zhì)都高的能量范圍，被稱為物質(zhì)的第四態(tài)。等離子體是由離子、電子和中性粒子組成的中性集合體，在與材料表面撞擊時(shí)會(huì)將自己的能量傳遞給材料表面的分子和原子，產(chǎn)生一系列物理和化學(xué)過程。一些粒子還會(huì)注入到材料表面引起碰撞、散射、激發(fā)、重排、異構(gòu)、缺陷、晶化及非晶化，從而改變材料的表面性能。
等離子表面處理儀是通過利用對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子狀態(tài)，利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等的目的。
等離子表面處理儀由等離子發(fā)生器、氣體輸送系統(tǒng)及等離子噴頭等部分組成。等離子發(fā)生器產(chǎn)生高壓高頻能量在噴嘴鋼管中被激活和被控制的光放電中產(chǎn)生了低溫等離子體，借助壓縮空氣將等離子體噴向工件表面，當(dāng)?shù)入x子體與被處理物體表面相遇時(shí)，產(chǎn)生了化學(xué)作用和物理變化，表面得到了清潔，去除了碳化氫類污物，建立了羥基、羧基等自由基團(tuán)，這些基團(tuán)對(duì)各種涂敷材料具有促進(jìn)其粘合的作用，在粘合和油漆應(yīng)用時(shí)得到了優(yōu)化。
等離子表面處理儀在材料學(xué)，光學(xué)，電子學(xué)，醫(yī)藥學(xué)，環(huán)境學(xué)、生物學(xué)等科研領(lǐng)域得了廣泛的應(yīng)用，主要用于材料表面清洗、活化、沉積、去膠、刻蝕、接枝聚合、疏水、親水、金屬還原、去除有機(jī)物、鍍膜前處理、器械消毒等。
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