手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號(hào)：chem17
掃碼關(guān)注視頻號(hào)
白光干涉儀是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。在同等放大倍率下，測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級(jí)別的超高精度加工領(lǐng)域，除了白光干涉儀，其它儀器達(dá)不到檢測的精度要求。
SuperView W1系列白光干涉儀由照明光源系統(tǒng)，光學(xué)成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。
照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從這兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，所以根據(jù)白光干涉條紋明暗度就可以解析出被測樣品的相對高度。
白光干涉儀由以下及部分構(gòu)成：光學(xué)照明系統(tǒng) ，采用鹵素光源，其中心波長為576納米，光譜范圍從340納米到780納米。光學(xué)成像系統(tǒng) 采用無限遠(yuǎn)光學(xué)成像系統(tǒng)，由顯微物鏡和成像目鏡組成。垂直掃描控制系統(tǒng) 由壓電陶瓷以及控制驅(qū)動(dòng)器構(gòu)成，采用閉環(huán)反饋控制方法，可精密驅(qū)動(dòng)顯微物鏡上下移動(dòng)，移動(dòng)范圍100mm。位置移動(dòng)精度為0.1納米。信號(hào)處理系統(tǒng) 信號(hào)處理系統(tǒng)是該儀器的核心部分，由計(jì)算機(jī)和數(shù)字信號(hào)協(xié)處理器構(gòu)成。利用計(jì)算機(jī)采集一系列原始圖像數(shù)據(jù)。然后使用專用的數(shù)字信號(hào)協(xié)處理器完成數(shù)據(jù)解析作業(yè)。應(yīng)用軟件 應(yīng)用軟件主要由操作控制部分，結(jié)果顯示部分以及后處理部分組成。主要用于操作控制表面形狀測量儀器。同時(shí)，以三維立體，二維平面以及斷面分布曲線方式顯示實(shí)時(shí)測量結(jié)果。并可對測量結(jié)果作進(jìn)一步的修正處理。
白光干涉儀與臺(tái)階儀相比具有以下優(yōu)點(diǎn)：一是非接觸高精密測量，不會(huì)劃傷甚至破壞工件；二是測量速度快，不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測量；三是不必作探頭半徑補(bǔ)正，光點(diǎn)位置就是工件表面測量的位置；四是對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而精確的得到理想的測量結(jié)果。隨著白光干涉測量技術(shù)的發(fā)展和完善，白光干涉測量儀器已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域，白光干涉測量儀器可以提供更高精度的檢測需求。
超光滑透鏡測量
磨損形貌測量
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心