超聲波清洗技術(shù)經(jīng)過幾十年的理論實(shí)踐,在工藝和設(shè)備上都得到了很大的發(fā)展，不僅研發(fā)了大批新產(chǎn)品，也制訂了更為先進(jìn)的清洗工藝。

1.高頻超聲清洗

半導(dǎo)體硅片、太陽(yáng)能電池硅片表面的超微污物粒子，如采用低頻超聲波，即使硅片擊碎，粒子依然附著其上，越是增加功率密度也沒任何效果。近來發(fā)展起來的兆赫高頻超聲清洗，其超聲頻率髙，實(shí)際上已不再是產(chǎn)生空化氣泡，而是高頻壓力波的擦洗作用，對(duì)污物的清除率也接近百分白，并且對(duì)硅片損傷微乎其微。因此近來發(fā)展較快,雖然造價(jià)昂貴，但硅晶圓太陽(yáng)能行業(yè)仍趨之若鶩。

2.聚焦式清洗

化纖行業(yè)使用的噴絲板、其上面密密麻麻的微細(xì)孔，以前恐怕只有人工用細(xì)針來捅穿堵塞物，即使采用常規(guī)的超聲清洗效果也不理想，主要是聲強(qiáng)達(dá)不到要求，而采用機(jī)械掃描聚焦式超聲清洗，達(dá)到較高的聲強(qiáng)，在間隙脈沖狀態(tài)下，空化泡高密度的轟擊，噴絲板微孔內(nèi)的污物脫離，達(dá)到清理殘留物的效果。

3.多頻清洗

在一臺(tái)超聲波清洗機(jī)槽體內(nèi)，安裝兩組或三組以上不同超聲頻率的換能器，由多臺(tái)超聲波發(fā)生器分別推動(dòng)各自頻率的換能器，超聲波清洗的頻率高，在液體中的空化密度大但空化強(qiáng)度低，而超聲波清洗的頻率低則正好相反，空化密度小但空化強(qiáng)度高，由于低頻超聲波的強(qiáng)度高，有利于物體表面清洗，高頻超聲波空化密度高，穿透細(xì)孔、縫隙、凹槽結(jié)構(gòu)的能力強(qiáng)。因此在一臺(tái)中應(yīng)用多種頻率的超聲波，就解決了一個(gè)頻率因駐波場(chǎng)造成的清洗不均勻問題。

4.掃頻和跳頻清洗

掃頻清洗和跳頻清洗都是為了改善清洗槽中的聲場(chǎng)結(jié)構(gòu)，掃頻清洗解決了清洗槽的駐波場(chǎng),使清洗更均勻；而跳頻和多頻一樣兼顧到高低頻清洗，不同的是跳頻用的是一個(gè)換能器和一個(gè)發(fā)生器，其換能器本身具有兩個(gè)或多個(gè)諧振頻率，在第一諧振點(diǎn)帶寬內(nèi)作連續(xù)的頻率變化，然后跳到另一帶寬內(nèi)進(jìn)行掃頻清洗，屬于高中低頻交替進(jìn)行的清洗方式，這就是實(shí)現(xiàn)一臺(tái)超聲波發(fā)生器驅(qū)動(dòng)一種換能器的多種頻率，并可實(shí)現(xiàn)頻率自由切換。