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白光干涉儀測三維形貌

來源:深圳市中圖儀器股份有限公司   2022年06月07日 13:37  

作為三維形貌測量領(lǐng)域的高精度檢測儀器之一,在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域,白光干涉儀可以提供更高精度的檢測需求。測量三維形貌的系統(tǒng)原理是在視場范圍內(nèi)從樣品表面底部到頂部逐層掃描,獲得數(shù)百幅干涉條紋圖像,找到該過程中每一個像素點(diǎn)處于光強(qiáng)最大時的位置,完成3D重建。


SuperViewW1白光干涉儀由光學(xué)照明系統(tǒng)、光學(xué)成像系統(tǒng)、垂直掃描控制系統(tǒng)、信號處理系統(tǒng)、應(yīng)用軟件構(gòu)成。其中信號處理系統(tǒng)作為儀器核心部分,由計算機(jī)和數(shù)字信號協(xié)處理器構(gòu)成。利用計算機(jī)采集一系列原始圖像數(shù)據(jù),然后使用專用的數(shù)字信號協(xié)處理器完成數(shù)據(jù)解析作業(yè)。重建算法能自動濾除樣品表面噪點(diǎn),在硬件系統(tǒng)的配合下,分辨率可達(dá)0.1nm。


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性能特點(diǎn)

1、輪廓/粗糙度測量功能:

高到亞納米級的高度分辨率,在寬度、高度、角度、直徑等各類輪廓尺寸測量功能以及表征表面整體加工質(zhì)量的粗糙度等指標(biāo);

2、自動化測量功能:

自動單區(qū)域測量/自動多區(qū)域測量/自動拼接測量;

3、復(fù)合型掃描算法:

集合了PSI高精度&VSI大范圍雙重優(yōu)點(diǎn)的EPSI掃描算法,有效覆蓋從超光滑到粗糙等所有類型樣品,無須切換,操作便捷;

4、雙重防撞保護(hù)功能:

Z軸上裝有防撞機(jī)械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護(hù)功能,雙重保護(hù),多一重安心;

5、環(huán)境噪聲檢測功能:

環(huán)境噪聲評價功能能夠定量檢測儀器當(dāng)前所處環(huán)境的綜合噪聲數(shù)值,對儀器的調(diào)試、測試可靠性提供指導(dǎo);

6、完善的售后服務(wù)體系:

設(shè)備故障遠(yuǎn)程&現(xiàn)場解決,軟件免費(fèi)升級。



應(yīng)用場景

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半導(dǎo)體—輪廓尺寸測量


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光伏柵線—厚度和寬度測量


圖片4.jpg

微流控器件—槽道測量


圖片5.jpg

光學(xué)衍射片


超精密加工


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