精品国产亚洲国产亚洲,久热中文在线观看精品视频,成人三级av黄色按摩,亚洲AV无码乱码国产麻豆

產(chǎn)品推薦:氣相|液相|光譜|質(zhì)譜|電化學(xué)|元素分析|水分測(cè)定儀|樣品前處理|試驗(yàn)機(jī)|培養(yǎng)箱


化工儀器網(wǎng)>技術(shù)中心>解決方案>正文

歡迎聯(lián)系我

有什么可以幫您? 在線咨詢

方案|光刻膠的顯影和光刻工藝

來源:邁可諾技術(shù)有限公司   2022年06月21日 15:53  
光刻膠的顯影和光刻工藝

今天小編要跟大家簡要介紹關(guān)于光刻膠的顯影過程和光刻工藝處理的一些相關(guān)內(nèi)容。光刻工藝可用五個(gè)指標(biāo)來衡量其效果:分辨率、靈敏度、套刻對(duì)準(zhǔn)精度、缺陷率和硅片加工過程處理問題,其中有3個(gè)指標(biāo),分辨率、靈敏度和缺陷率是與涂膠顯影的工藝精度有重要。


顯影過程是將曝光后的光刻膠中與紫外光發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的部分除去或保留下來的過程。

顯影的主要過程如下:

對(duì)準(zhǔn)曝光→曝光后烘→顯影→堅(jiān)膜→顯影檢測(cè)。

 

1 對(duì)準(zhǔn)曝光(Alignment and Exposure


對(duì)準(zhǔn)曝光階段是光刻工藝的重要階段,使用的掩膜曝光機(jī),即光刻機(jī),集中了光刻工藝中最重要的工藝技術(shù)。對(duì)準(zhǔn)曝光過程通常在黃光實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行。

圖片


使用的光刻機(jī)也根據(jù)不同的曝光原理,分為接觸式曝光,接近式曝光和投影式曝光。也可按自動(dòng)化程度高低分成手動(dòng)式,半自動(dòng)式NXQ4006,和全自動(dòng)式光刻機(jī)NXQ8000系列。

圖片


 



曝光后烘(PEB)


曝光后應(yīng)盡快進(jìn)行顯影步驟中的烘干處理,從而有效降低駐波效應(yīng)的影響,這是由于曝光過程中,入射光和反射光會(huì)產(chǎn)生相互干涉,其光強(qiáng)會(huì)沿著膠體水平方向形成波紋形狀,即駐波。目前通常采用曝光后立刻烘干方式,即PEB,減少駐波效應(yīng)帶來的影響。

圖片          

無后烘處理                                                


圖片

有后烘處理





顯影(Develop)


PEB之后,硅片冷卻至23℃左右,與顯影液溫度相同,并與顯影液發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。一般來說,顯影過程中被曝光和未曝光部分的光刻膠都會(huì)與光刻膠發(fā)生反應(yīng),因此,為得到良好的顯影效果,可以通過改變顯影液成分,顯影溫度,顯影方式,與顯影步驟等因素來加快曝光與為曝光部分光刻膠的溶解速率。若對(duì)顯影的要求不高,可以直接將硅片放入顯影液槽中浸泡然后取出。對(duì)于大部分對(duì)顯影要求較高的生產(chǎn)及實(shí)驗(yàn)過程,通常使用專用的勻膠顯影機(jī)來自動(dòng)控制顯影過程,如圖所示。

圖片

WS-650Mz-23NPPB勻膠旋涂儀

圖片

EDC-650Hz-8NPPB顯影腐蝕機(jī)




堅(jiān)膜(HB Hardbake)


堅(jiān)膜也稱為硬烘,是對(duì)顯影后的光刻膠加熱烘干,促使光刻膠與硅片粘著牢固,并且沒有發(fā)生形變。堅(jiān)膜階段的溫度一般控制在 100-120℃之間,若加熱溫度過高會(huì)使得光刻膠軟化,如圖所示,并導(dǎo)致后期去膠困難。一般使用熱板或烘箱來控制溫度變化。光刻工藝中的堅(jiān)膜工序。堅(jiān)膜是在顯影后以適當(dāng)?shù)臏囟群娓刹Aб猿ニ植⒃鰪?qiáng)其聚合,提高強(qiáng)度的工藝,它增強(qiáng)了膠膜與玻璃的粘附性。設(shè)定堅(jiān)膜所需的溫度與時(shí)間,應(yīng)以膜層圖形的牢固性和不致變形為原則。




顯影檢驗(yàn)DI develop inspect)


在顯影和烘焙之后就是要完成光刻掩膜工藝的質(zhì)檢。適當(dāng)?shù)貋碚f應(yīng)叫顯影檢驗(yàn)(develop inspect)或DI。檢驗(yàn)的目的是區(qū)分那些有很低可能性通過最終掩膜檢驗(yàn)的晶圓;提供工藝性能和工藝控制數(shù)據(jù);及分揀出需要重做的晶圓。這時(shí)的檢驗(yàn)良品率,也就是通過這個(gè)質(zhì)檢的晶圓數(shù)量,不會(huì)計(jì)入最終良品率的計(jì)算。但是有兩個(gè)主要原因使之成為很受關(guān)注的良品率。

在顯影檢驗(yàn)工藝,工程師有個(gè)判斷工藝的性能機(jī)會(huì)。顯影檢驗(yàn)步驟的第二個(gè)重要性與在檢驗(yàn)時(shí)作的拒收有關(guān)。首先,一部分晶圓會(huì)從上一步留下來問題而要停止工藝處理。這些晶圓在顯影檢驗(yàn)時(shí)會(huì)被拒絕接受并進(jìn)行處理。其它在光刻膠上有光刻圖案問題的晶圓可被通過去掉光刻膠的辦法而進(jìn)行重新工藝處理。幾乎沒有工廠不發(fā)生這種一般性的重新工藝處理。晶圓被返回掩膜工藝稱為重新工藝處理(rework或redo)。工藝工程師的目標(biāo)是保持盡可能低的重新工藝處理率,處理率應(yīng)小于10%,而5%是一個(gè)受歡迎的水平。一個(gè)原因是經(jīng)過重新工藝處理的晶圓在最終工藝完成時(shí)有較低的分選良品率。重新工藝處理會(huì)造成粘貼問題并且再次的傳輸操作會(huì)導(dǎo)致晶圓污染和損壞。如果太多的晶圓進(jìn)行重新工藝處理則整個(gè)分選良品率會(huì)受到嚴(yán)重的影響。保持低重新工藝處理率的第二個(gè)原因與在進(jìn)行重新工藝處理晶圓時(shí)要求另外的計(jì)算和區(qū)分有關(guān)。

顯影檢驗(yàn)良品率和重新工藝處理率隨掩膜水平而變。總體上,在掩膜次序中有較寬的特征圖形尺寸、較平的表面和較低的密度,所有這些會(huì)使掩膜良品率更高。在晶圓到了關(guān)鍵的接觸和連線步驟時(shí),重新工藝處理率會(huì)有上升趨勢(shì)??傮w上有四類晶圓上的問題適用于顯影檢驗(yàn)和最終檢驗(yàn),如在圖案尺寸(關(guān)鍵尺寸測(cè)量)上會(huì)有偏差;有定位不準(zhǔn)的圖案;有表面問題如光刻膠的污染、空洞或劃傷及污點(diǎn)和其它的表面不規(guī)則。


免責(zé)聲明

  • 凡本網(wǎng)注明“來源:化工儀器網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,并注明“來源:化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
  • 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源(非化工儀器網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé),不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí),必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
  • 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題,請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
企業(yè)未開通此功能
詳詢客服 : 0571-87858618
精品老熟妇一区二区三区-日韩丰满一区二区三区| 精品亚洲卡一卡2卡三卡乱码-一区三区二插女人高潮在线观看| 国产欧美日本一区二区-一区二区三区亚洲在线播放| 国产aa视频一区二区三区-国产精品久久久久久久毛片动漫| 在线观看中午中文乱码-2021国产一级在线观看| 91大神国内精品免费网站-亚洲免费电影一区二区| 久久99热这里都是精品啊-国产成人亚洲精品无码aV| 亚洲黄片三级三级三级-国产成人一区二区在线视频| 国产精品一区二区在线免费-久久精品国产亚洲av热明星| 天天干天天日天天射天天舔-精品香蕉视频官网在线观看| 亚洲国产精品日韩欧美-国产又粗又硬又大爽黄| 日本亚洲精品中字幕日产2020-很黄很黄的裸交视频网站| 国产在线不卡高清一区-日本一区二区三区四区无卡| 国产精品熟女视频一区二区-国产日韩精品欧美一区喷水| 欧美日本亚一级二级三区久久精品-日韩欧美一区二区久久婷婷| 国产精品美女在线网址-久草免费福利在线观看视频| 亚洲国产日韩精品四区-dy888午夜福利精品国产97| 日韩精品亚洲不卡一区二区-成人网在线视频精品一区二区三区| 十九禁止观看无码视频-亚洲国产激情福利专区| 日韩亚洲一区二区三区av-欧美综合在线观看一区二区三区| 亚洲一区精品一区在线观看-日本久久久一区二区三区| 国产一区二区三区四区五区麻豆-欧美一级在线视频播放| hd在线观看一区二区-免费一区二区三区毛片在线| 日本韩国亚洲欧美三级-日本东京不卡网一区二区三区| 国产小黄片高清在线观看-涩涩鲁精品亚洲一区二区| 亚洲国产欧美日韩不卡-熟妇激情一区二区三区| 青木玲高清中文字幕在线看-视频在线免费观看你懂的| 欧美日韩国产综合四区-爆操极品尤物熟妇14p| 亚洲午夜久久久精品影院-性感美女在线观看网站国产| 成人av一区二区蜜桃-亚洲色图激情人妻欧美| 日韩中文字幕v亚洲中文字幕-日韩亚洲av免费在线观看| 在线观看中午中文乱码-2021国产一级在线观看| 国产日韩电影一区二区三区-美女露双奶头无遮挡物| 一区二区三区国产高清mm-美女张开腿让帅哥桶爽| 亚洲一区二区少妇激情-国产精品美女久久高潮| 欧美一级二级三级在线看-日韩精品欧美嫩草久久99| 久久精品国产96精品-日韩人成理论午夜福利| 国产在线观看高清精品-四季av一区二区三区中文字幕| 国产成人精品亚洲精品密奴-国产成人AV无码精品| 在线国产自偷自拍视频-蜜桃a∨噜噜一区二区三区| 国产亚洲欧美一区91-亚洲欧美一区二区在线|