通常的X射線熒光光譜儀分為能量色散X射線熒光光譜儀(EDXRF)和波長色散X射線熒光光譜儀(WDXRF),其以X射線管出射譜照射樣品后產(chǎn)生的元素?zé)晒馍渚€是以能量色散型探測器直接探測(EDXRF)或是經(jīng)分光晶體分光后探測器探測(WDXRF)為主要區(qū)別。
單波長X射線熒光光譜儀是在X射線照射樣品前進(jìn)行了X射線光的單色化入射,主要依靠雙曲面彎晶或者二次靶或者多層膜彎晶等技術(shù),將X射線管出射譜中的單一能量衍射聚焦到樣品一點,激發(fā)樣品中元素?zé)晒?,這樣極大降低了由于X射線管出射譜韌致輻射照射樣品而產(chǎn)生的背景干擾,獲得較佳的元素?zé)晒庑盘柗灞潮?。?yán)格說來,單波長X射線熒光光譜儀也分為單波長激發(fā)-能量色散X射線熒光光譜儀和單波長激發(fā)-波長色散X射線熒光光譜儀兩類。
由于單波長X射線熒光光譜儀獲得較佳的元素分析性能(尤其在靈敏度方面),是當(dāng)前X射線熒光領(lǐng)域研發(fā)的重點。
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