多軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)成為應(yīng)用趨勢(shì)，伴隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，相應(yīng)的加工檢測(cè)設(shè)備也會(huì)逐漸地提高性能，因此很多公司都使用氣浮臺(tái)，這是一種用于半導(dǎo)體加工、檢測(cè)、微納加工、測(cè)試測(cè)量等高精度設(shè)備，但到底有哪些主要優(yōu)勢(shì)。

1.直線性和平面性高。

2.高定位精度和重復(fù)定位。

3.速度穩(wěn)定。

4.偏擺、縱搖、滾動(dòng)精度高。

氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的高直度和平面度取決于氣浮導(dǎo)軌，材料分為鋁合金、大理石、碳化硅陶瓷等，研究其壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器、均壓槽深度等參數(shù)，找出了氣膜剛度的參數(shù)區(qū)間，具有出色的性能精度，實(shí)現(xiàn)了高壓氣膜剛度的參數(shù)區(qū)間，并具有4G的加速度。

事實(shí)上，材料的選擇和用戶的應(yīng)用有著密切的聯(lián)系，單從性價(jià)比的角度來看，碳化硅陶瓷材料的氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)精度高，當(dāng)然成本也很高，鋁合金與大理石材料的同樣性能價(jià)格比，鋁合金加工成本更低，鋁合金材料成本更低。

采用*的直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，選用不帶鐵芯的設(shè)計(jì)，具有無齒槽效應(yīng)，高動(dòng)態(tài)性能及電流噪聲小等特點(diǎn)，使在運(yùn)動(dòng)過程中能達(dá)到超平穩(wěn)的效果，另外配置光柵尺閉環(huán)反饋及*性控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)高精度和重復(fù)定位精度。

因此，從各方向的優(yōu)點(diǎn)來看，多軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)已成為目前從事高精密應(yīng)用行業(yè)的選擇，可以提高整個(gè)系統(tǒng)的精度性能。

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