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三維輪廓儀是一種用于表面結(jié)構(gòu)測(cè)量和表面形貌分析的測(cè)量和計(jì)量設(shè)備。它不僅可以用于科學(xué)研究，還可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測(cè)，該儀器可被視為表面研究的萬(wàn)用表。它利用接觸和非接觸功能的設(shè)計(jì)特點(diǎn)，彌補(bǔ)了兩種模式的局限性，發(fā)揮了表面形貌儀的測(cè)量極限。光學(xué)非接觸式具有速度快、直接三維成像、對(duì)樣品無(wú)損傷等特點(diǎn)。探針接觸模式方便快捷，樣品制備簡(jiǎn)單，測(cè)量材料廣泛。兩種模式結(jié)合使用，可用于研究更多形狀、性質(zhì)和材料的樣品的表面形態(tài)。
1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度、波浪度、表面結(jié)構(gòu)、缺陷分析、晶粒分析等。
2、二維圖像分析：距離、半徑、斜率、網(wǎng)格、輪廓等。
3、表面和界面測(cè)量：透明表面形態(tài)，薄膜厚度，透明薄膜下的表面。
4、薄膜和厚膜的階梯高度的測(cè)量。
5、劃痕形態(tài)、摩擦和磨損深度、寬度和體積的定量測(cè)量。
6、微電子表面分析和MEMS表征。
三維輪廓儀是一種自動(dòng)測(cè)量設(shè)備。在測(cè)量表面輪廓時(shí)，操作者需要先安裝好輪廓模塊，然后安裝好待測(cè)工件，在驗(yàn)證軟件上設(shè)置好掃描的開始和結(jié)束位置，點(diǎn)擊"開始"按鈕，測(cè)量針會(huì)自動(dòng)接觸工件表面，并按照設(shè)定的位置進(jìn)行掃描；在輪廓掃描過(guò)程中，軟件界面會(huì)實(shí)時(shí)繪制輪廓曲線；掃描結(jié)束后，操作者可以通過(guò)輪廓分析工具分析生成的輪廓曲線，得到直線度、圓度、角度、距離和間距等輪廓參數(shù)。
三維輪廓儀的維護(hù)說(shuō)明。
1、測(cè)量結(jié)束后，退出系統(tǒng)，關(guān)閉電腦，切斷電源。
2、測(cè)量結(jié)束后，用棉花和航空汽油清潔工作臺(tái)和夾具，并涂上防銹油。
3、注意儀器附件的防銹。
4、定期清洗導(dǎo)軌（具體周期視環(huán)境而定），保證導(dǎo)軌的精度。
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