手機版
化工儀器網手機版
化工儀器網小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
原子力顯微鏡(Atomic Force Microscopy, AFM)是由IBM 公司的Binnig與史丹佛大學的Quate 于一九八五年所發(fā)明的，其目的是為了使非導體也可以采用掃描探針顯微鏡（SPM）進行觀測。
原子與原子之間的交互作用力因為彼此之間的距離的不同而不同，其之間的能量表示也會不同。
原子力顯微鏡（AFM）與掃描隧道顯微鏡（STM）*大的差別在于并非利用電子隧道效應，而是利用原子之間的范德華力（Van DerWaalsForce）作用來呈現樣品的表面特性。假設兩個原子中，一個是在懸臂（cantilever）的探針**，另一個是在樣本的表面，它們之間的作用力會隨距離的改變而變化，其作用力與距離的關系，當原子與原子很接近時，彼此電子云斥力的作用大于原子核與電子云之間的吸引力作用，所以整個合力表現為斥力的作用，反之若兩原子分開有一定距離時，其電子云斥力的作用小于彼此原子核與電子云之間的吸引力作用，故整個合力表現為引力的作用。若以能量的角度來看，這種原子與原子之間的距離與彼此之間能量的大小也可從Lennard–Jones 的公式中到另一種印證。
·0.3納米長期穩(wěn)定
提供NIST可追蹤的參考計量，并在一年內保持測量的穩(wěn)定性
·260-340個站點/小時
內聯應用程序的*高生產效率
減少MAM時間和優(yōu)化的晶圓處理可保持高達50個晶圓/小時的吞吐量
·高達36000微米/秒
仿形速度
通過熱點識別提供高分辨率3D特征
·*高分辨率，尖--端壽命長
InSight AFP的TrueSense®技術，具有原子力分析器經驗證的長掃描能力。亞微米特征的蝕刻深度、凹陷和侵蝕可以*自動化地監(jiān)控，具有可重復性，無需依賴測試鍵或模型。
蝕刻和CMP晶片的全自動在線過程控制
Insight AFP結合了原子力顯微鏡的新創(chuàng)新，包括Bruker的專有CDMode，用于表征側壁特征和粗糙度。CDmode減少了所需的橫截面數量，實現了顯著的成本節(jié)約。此外，AFP數據提供了無法通過其他技術獲得的直接側壁粗糙度測量。
相關產品
免責聲明
- 凡本網注明“來源：化工儀器網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網”。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源（非化工儀器網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內與本網聯系，否則視為放棄相關權利。
采購中心