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真空鍍膜有哪些維護(hù)事項(xiàng)

來(lái)源:徠卡顯微系統(tǒng)(上海)貿(mào)易有限公司   2022年12月06日 18:28  
  真空鍍膜設(shè)備主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。
  真空鍍膜的維護(hù)事項(xiàng)
  1、真空鍍膜設(shè)備每完成200個(gè)鍍膜程序以上,應(yīng)清潔工作室一次。
  方法是:用燒堿(NaOH)飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁,( 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液,以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發(fā)生反應(yīng),反應(yīng)后膜層脫落,并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。
  2、當(dāng)粗抽泵(滑閥泵,旋片泵)連續(xù)工作一個(gè)月(雨季減半),需更換新油。
  方法是:擰開放油螺栓,放掉舊油,再將泵啟動(dòng)數(shù)秒,使泵內(nèi)的舊油排放出來(lái)。擰回放油螺栓,加入新油至額定量(油視鏡觀察)。連續(xù)使用半年以上,換油時(shí)應(yīng)將油蓋打開,用布擦干凈箱內(nèi)污垢。
  3、擴(kuò)散泵連續(xù)使用6個(gè)月以上,抽速明顯變慢,或操作失當(dāng),充入大氣,拆去聯(lián)結(jié)水管,卸下電爐盤,將一級(jí)噴嘴擰出,先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍,再用洗衣粉兌水清洗一遍,然后用清水清洗干凈,待水份揮發(fā)干以后,裝好泵膽,加入新擴(kuò)散泵油,并裝回機(jī)體,接好水管,裝好電爐盤,便可以重新開機(jī)。在重新開機(jī)前,要注意檢漏工作。方法是:?jiǎn)?dòng)維持泵,關(guān)好大門,數(shù)分鐘后,觀察擴(kuò)散泵部分真空度是否達(dá)到6X10帕,否則要進(jìn)行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈,或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,否則擴(kuò)散泵油會(huì)燒環(huán),無(wú)法進(jìn)入工作狀態(tài)。
 

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