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半導(dǎo)體制造顯微鏡的應(yīng)用介紹

來源:微儀光電(天津)有限公司   2022年12月09日 15:30  

半導(dǎo)體制造過程中顯微鏡應(yīng)用在哪些領(lǐng)域呢,今天小編簡單和大家介紹一下。

電子產(chǎn)品在日常生活中應(yīng)用越來越廣泛,人們對產(chǎn)品質(zhì)量要求也越來越高,因此半導(dǎo)體制造過程中,一個好的ic芯片設(shè)計,制造尤為重要。

 

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓:在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性.功能之IC產(chǎn)品。半導(dǎo)體制造過程可分為前段制程(晶圓處理制程、晶圓針測制程)和后段(構(gòu)裝、測試制程)。下面小編和大家介紹一下顯微鏡應(yīng)用。

 

在半導(dǎo)體制造過程中,顯微鏡應(yīng)用比較多。在前段制程制的晶圓處理制程中,蝕刻后就需要用到光學(xué)顯微鏡。在后段的構(gòu)裝過程中,晶圓研磨、晶圓上片、晶圓切割、焊線、印字、檢驗等都需要用到顯微鏡,生產(chǎn)線也將根據(jù)檢測需求選擇不同的顯微鏡哦。比如在晶圓上片后,該生產(chǎn)線上的負(fù)責(zé)人將采用抽檢的方式觀察晶圓上片是否偏移、是否溢膠,膠是否太厚或太薄等問題。此時,常用的檢測顯微鏡是工具測量顯微鏡。

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