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探針臺(tái)的選型

來(lái)源:優(yōu)測(cè)國(guó)芯電子科技(深圳)有限公司   2023年02月02日 14:03  

通常需要確定以下問(wèn)題來(lái)確定探針臺(tái)的選型:

1、最大需要測(cè)幾英寸的晶圓或者器件? 
2、 探針臺(tái)機(jī)械精度要求多高? 
3、 點(diǎn)測(cè)樣品的尺寸規(guī)格為多少?100um*100um或60um*60um的pad,還是FIB制作的mini pad,還是ic內(nèi)部的metal? 
4、 最多需要幾根探針同時(shí)去點(diǎn)測(cè)? 
5、 是否會(huì)用到探針卡? 
6、 光學(xué)顯微鏡的最小分辨率需要用到多少? 
7、 顯微鏡方面,是否需要添加偏光片做LC液晶熱點(diǎn)偵測(cè)? 
8、 探針點(diǎn)測(cè)時(shí),對(duì)電流的要求是否達(dá)到100fa或者以下?低電容的要求是否要做到0.1pf?是否有射頻的需求?
9、 接駁的測(cè)試儀器接口有哪些? 
10、測(cè)試環(huán)境時(shí)是否會(huì)需要加熱或者降溫? 
11、對(duì)chuck的漏電要求怎樣?是否需要添加低阻抗chuck? 
12、是否需要防震桌? 
13、若添置防震桌,是否有壓縮空氣?

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