通常需要確定以下問題來確定探針臺的選型:
1、最大需要測幾英寸的晶圓或者器件?
2、 探針臺機械精度要求多高?
3、 點測樣品的尺寸規(guī)格為多少?100um*100um或60um*60um的pad,還是FIB制作的mini pad,還是ic內(nèi)部的metal?
4、 最多需要幾根探針同時去點測?
5、 是否會用到探針卡?
6、 光學顯微鏡的最小分辨率需要用到多少?
7、 顯微鏡方面,是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測?
8、 探針點測時,對電流的要求是否達到100fa或者以下?低電容的要求是否要做到0.1pf?是否有射頻的需求?
9、 接駁的測試儀器接口有哪些?
10、測試環(huán)境時是否會需要加熱或者降溫?
11、對chuck的漏電要求怎樣?是否需要添加低阻抗chuck?
12、是否需要防震桌?
13、若添置防震桌,是否有壓縮空氣?
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