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探針臺的選型

來源:優(yōu)測國芯電子科技(深圳)有限公司   2023年02月02日 14:03  

通常需要確定以下問題來確定探針臺的選型:

1、最大需要測幾英寸的晶圓或者器件? 
2、 探針臺機械精度要求多高? 
3、 點測樣品的尺寸規(guī)格為多少?100um*100um或60um*60um的pad,還是FIB制作的mini pad,還是ic內(nèi)部的metal? 
4、 最多需要幾根探針同時去點測? 
5、 是否會用到探針卡? 
6、 光學顯微鏡的最小分辨率需要用到多少? 
7、 顯微鏡方面,是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測? 
8、 探針點測時,對電流的要求是否達到100fa或者以下?低電容的要求是否要做到0.1pf?是否有射頻的需求?
9、 接駁的測試儀器接口有哪些? 
10、測試環(huán)境時是否會需要加熱或者降溫? 
11、對chuck的漏電要求怎樣?是否需要添加低阻抗chuck? 
12、是否需要防震桌? 
13、若添置防震桌,是否有壓縮空氣?

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