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EVG突破用于半導(dǎo)體高/級(jí)封裝的掩模對(duì)準(zhǔn)光刻技術(shù)中的速度和精度障礙

來源:岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司   2023年02月20日 10:41  

 面向MEMS,納米技術(shù)和半導(dǎo)體市場的晶圓鍵合和光刻設(shè)備的LING XIAN供應(yīng)商EV GroupEVG)近日推出了IQ Aligner NT,它是針對(duì)大批量先進(jìn)封裝應(yīng)用的新的,先進(jìn)的自動(dòng)掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。新型IQ Aligner NT具有高強(qiáng)度和高均勻度的曝光光學(xué)器件,新的晶圓處理硬件,可實(shí)現(xiàn)全局多點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)的200mm300mm晶圓WAN QUAN覆蓋范圍以及優(yōu)化的工具軟件,從而使生產(chǎn)率提高了2倍與EVG上一代IQ Aligner相比,對(duì)準(zhǔn)精度提高了2倍。該系統(tǒng)超越了晶圓凸塊和其他后端光刻應(yīng)用的ZUI KE KE要求,同時(shí)與競爭系統(tǒng)相比,擁有成本降低了30%。

      IQ Aligner NT非常適合各種高級(jí)封裝類型,包括晶圓級(jí)芯片級(jí)封裝(WLCSP),扇出晶圓級(jí)封裝(FOWLP),3D-IC /直通硅通孔(TSV),2.5D中介層和倒裝芯片。

需要新的光刻功能
      半導(dǎo)體高級(jí)封裝正在不斷發(fā)展,以使新型器件能夠以更低的功能成本增加功能。結(jié)果,現(xiàn)在需要光刻的新發(fā)展來滿足先進(jìn)封裝市場的DU TE需求。這些需求包括:

    • JI GAO的對(duì)準(zhǔn)精度

    • 管理晶圓翹曲并解決晶圓和掩模布局的尺寸不匹配問題,以實(shí)現(xiàn)優(yōu)化的覆蓋

    • 充分暴露后端處理中發(fā)現(xiàn)的較厚的抗蝕劑和介電層

    • 更高的分辨率可解決由于器件縮放而導(dǎo)致的凸塊和互連縮小

    • 同時(shí),所有這些需求都必須在具有高成本效益和高生產(chǎn)率的光刻工具平臺(tái)中得到滿足。

      EV Group執(zhí)行技術(shù)總監(jiān)Paul Lindner表示:憑借超過三十年的光刻經(jīng)驗(yàn),EVG借助我們的新型IQ Aligner NT將掩模對(duì)準(zhǔn)技術(shù)的領(lǐng)域推向了新的境界。” “我們的光刻解決方案套件的最新添加提供了QIAN SUO WEI YOU的吞吐量,準(zhǔn)確性和擁有成本性能水平,這反過來又為EVG開辟了各種新的市場機(jī)會(huì)。我們期待與客戶緊密合作,以滿足他們至關(guān)重要的高級(jí)封裝光刻需求。

      IQ Aligner NT進(jìn)行了多種改進(jìn),以實(shí)現(xiàn)行業(yè)LING XIAN的掩模對(duì)準(zhǔn)性能,以實(shí)現(xiàn)高級(jí)封裝光刻:

    • EVG的上一代IQ Aligner相比,高功率光學(xué)器件的照明強(qiáng)度提高了3倍,使其成為曝光厚抗蝕劑和與處理凸點(diǎn),支柱和其他高形貌特征相關(guān)的其他膜的理想選擇

    • 300毫米基板上進(jìn)行WAN QUAN的明場掩模移動(dòng),從而在暗場掩模對(duì)準(zhǔn)和圖案定位方面提供了高的工藝兼容性和靈活性

    • 雙基板尺寸概念無需進(jìn)行任何重新組裝工作,為兩種不同尺寸的晶圓提供了快速,便捷的快速橋接工具

    • 支持全自動(dòng)以及半自動(dòng)/手動(dòng)晶圓裝載操作,以實(shí)現(xiàn)大的靈活性

    • 基于最新fab軟件標(biāo)準(zhǔn)和協(xié)議的最新EVG CIMFramework系統(tǒng)軟件

WU YU LUAN BI的準(zhǔn)確性和生產(chǎn)率性能
      IQ Aligner NTZUI XIAN JIN的光學(xué)和機(jī)械工程技術(shù)與優(yōu)化的工具軟件相結(jié)合,使產(chǎn)量提高了兩倍(第一次打印> 200 wph,頂部對(duì)齊> 160 wph)以及對(duì)準(zhǔn)精度提高了兩倍(250nm 3-sigma)。由于嚴(yán)格的對(duì)齊規(guī)范,客戶還可以提高GAO DUAN和高帶寬包裝產(chǎn)品的良率。
      此外,EVG將在314日至16日在中國上海的上海新國際博覽中心舉行的SEMICON China展覽會(huì)上展示IQ Aligner NT。有興趣了解有關(guān)IQ Aligner NT以及EVG先進(jìn)封裝的光刻和晶圓鍵合解決方案套件的更多知識(shí)的與會(huì)者,請(qǐng)?jiān)L問公司的#4663展位。

關(guān)于EV集團(tuán)(EVG

      EV GroupEVG)是制造半導(dǎo)體,微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS),化合物半導(dǎo)體,功率器件和納米技術(shù)器件的設(shè)備和工藝解決方案的LING XIAN供應(yīng)商。主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合,薄晶圓處理,光刻/納米壓印光刻(NIL)和計(jì)量設(shè)備,以及光刻膠涂布機(jī),清潔劑和檢查系統(tǒng)。EV Group成立于1980年,為各地精致的客戶和合作伙伴提供服務(wù)并提供支持。

 

 

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