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迷你臺(tái)棱鏡半自動(dòng)超高溫實(shí)驗(yàn)反應(yīng)釜的特點(diǎn)
迷你臺(tái)棱鏡半自動(dòng)超高溫實(shí)驗(yàn)反應(yīng)釜的特點(diǎn)
半自動(dòng)超高溫實(shí)驗(yàn)反應(yīng)釜 最高2000°C
迷你工作臺(tái)增加了PLC自動(dòng)序列以提高
可操作性[迷你工作臺(tái)棱鏡（迷你工作臺(tái)棱鏡）]
| 真空置換爐 | 最高2000°C |
|---|---|
| 還原氣氛爐 | 最高2000°C |
PLC半自動(dòng)控制 自動(dòng)順序控制（手動(dòng)調(diào)節(jié)氣體流量→針閥）
半自動(dòng)控制型電爐操作的自動(dòng)順序控制 臺(tái)式型號(hào) “抽真空”和“排氣
” Mini-BENCH監(jiān)測冷卻水異常、腔室溫度異常和超壓異常。 由SUS堅(jiān)固的水冷室制成，即使在最高溫度下連續(xù)使用也可以安全使用。
特征
節(jié)省空間：603（闊）x 603（深）x 1，170（高）mm
PLC半自動(dòng)操作：（抽真空/吹掃x 3循環(huán)排氣）
聯(lián)鎖（冷卻水、腔室表面溫度/加熱器過溫、真空度、腔室打開/關(guān)閉）
圓柱形加熱器（用于坩堝）、平面加熱器（用于晶圓燒制）
工作氣氛：真空、惰性氣體、還原性氣氛
原理圖規(guī)格
| 真空和氣體置換爐（碳爐） | 還原氣氛爐（金屬爐） | |
|---|---|---|
| 最高工作溫度 | 最高2000°C | |
| 加熱器 | 石墨或C/C復(fù)合加熱器 | 鎢加熱器 |
| 絕緣 | 石墨氈材料 | 鎢屏蔽層，氧化鋁絕緣 |
| 真空室 | SUS304水冷夾套結(jié)構(gòu)，頂部裝載，線性驅(qū)動(dòng)可打開（Φ3，僅4英寸） | |
| 使用氛圍 | 在真空或惰性氣體（Ar、N2）中 | 在真空中，惰性氣體（Ar，N2），還原氣體（H2等） |
| 有效加熱范圍 | Φ1“~ Φ4”（用于晶圓片進(jìn)料燒制的平面加熱器），或 -Φ80 x 深度 最大100 （H） mm （圓柱形加熱器） | |
| 極限真空度 | 1x10-2 帕斯卡（* 用于空爐） | |
| 真空泵 | 旋轉(zhuǎn)泵（可選：干泵、高真空泵） | |
| 熱電偶 | 包括C型熱電偶 | |
| 聯(lián)鎖 | 腔室表面溫度、加熱器超溫、冷卻水減少、腔室打開和關(guān)閉 | |
| 公用設(shè)施和冷卻水 | 加熱器額定值最大 6KVA（* 取決于加熱范圍尺寸），冷卻水 3 升/分鐘 0.4Mpa | |
加熱器
平面加熱絲（用于晶圓）：C / C復(fù)合材料（或鎢）
圓柱形加熱絲（用于坩堝）：C / C復(fù)合材料（或鎢）
* 根據(jù)加熱范圍的尺寸，通過組合平面加熱器和圓柱形加熱器，可以在整個(gè)坩堝中均勻加熱。
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