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掃描電鏡(SEM)的相關(guān)應(yīng)用有哪些

來源:北京華納微科技有限公司   2023年05月11日 16:54  

摘要:掃描電鏡是一種多功能的儀器、具有很多*的性能、是用途廣泛的一種儀器

掃描電鏡是一種多功能的儀器、具有很多*的性能、是用途廣泛的一種儀器,它可以進(jìn)行如下基本分析:

1、觀察納米材料:其具有很高的分辨率,可以觀察組成材料的顆?;蛭⒕С叽缭?.1—100nm范圍內(nèi),在保持表面潔凈的條件下加壓成型而得到的固體材料。

2、材料斷口的分析:其景深大,圖象富立體感,具有三維形態(tài),能夠從斷口形貌呈現(xiàn)材料斷裂的本質(zhì),在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析以及工藝合理性的判定等方面是一個(gè)強(qiáng)有力的手段。

3、直接觀察大試樣的原始表面:它能夠直接觀察直徑100mm,高50mm,或更大尺寸的試樣,對試樣的形狀沒有任何限制,粗糙表面也能觀察,這便免除了制備樣品的麻煩,而且能真實(shí)觀察試樣本身物質(zhì)成分不同的襯度(背散射電子象)

4、觀察厚試樣:其在觀察厚試樣時(shí),能得到高的分辨率和最真實(shí)的形貌。

5、觀察試樣的各個(gè)區(qū)域的細(xì)節(jié):試樣在樣品室中可動(dòng)的范圍非常大,可以在三度空間內(nèi)有6個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)(即三度空間平移、三度空間旋轉(zhuǎn)),這對觀察不規(guī)則形狀試樣的各個(gè)區(qū)域帶來極大的方便。

6、在大視場、低放大倍數(shù)下觀察樣品,用掃描電鏡觀察試樣的視場大:大視場、低倍數(shù)觀察樣品的形貌對有些領(lǐng)域是很必要的,如刑事偵察和考古。

7、進(jìn)行從高倍到低倍的連續(xù)觀察:掃描電鏡的放大倍數(shù)范圍很寬(從5到20萬倍連續(xù)可調(diào)),且一次聚焦好后即可從高倍到低倍、從低倍到高倍連續(xù)觀察,不用重新聚焦,這對進(jìn)行分析特別方便

8、觀察生物試樣:由于電子照射面發(fā)生試樣的損傷和污染程度很小,這一點(diǎn)對觀察一些生物試樣特別重要。

9、進(jìn)行動(dòng)態(tài)觀察:如果在樣品室內(nèi)裝有加熱、冷卻、彎曲、拉伸和離子刻蝕等附件,則可以觀察相變、斷烈等動(dòng)態(tài)的變化過程。

10、從試樣表面形貌獲得多方面資料:因?yàn)閽呙桦娮酉蟛皇峭瑫r(shí)記錄的,它是分解為近百萬個(gè)逐次依此記錄構(gòu)成的。使得掃描電鏡除了觀察表面形貌外還能進(jìn)行成分和元素的分析,以及通過電子通道花樣進(jìn)行結(jié)晶學(xué)分析,選區(qū)尺寸可以從10um到3um.

現(xiàn)在掃描電鏡已廣泛用于材料科學(xué)(金屬材料、非金屬材料、納米材料)、治金、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲害的防治、災(zāi)害(火災(zāi)、失效分析鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等。


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