ICP–MS屬精密儀器，維修及日常維護(hù)時(shí)必須嚴(yán)格遵照儀器使用規(guī)程進(jìn)行。正確的使用和維護(hù)保養(yǎng)儀器不但能夠提高分析結(jié)果的準(zhǔn)確性，還能夠延長(zhǎng)儀器的使用壽命，減少故障率，保障分析檢測(cè)工作的順利進(jìn)行。

1.靈敏度偏低

a、調(diào)用的方法文件是否正確；

b、調(diào)試溶液是否正確；

c、進(jìn)樣管、霧化器連接是否正常，有無(wú)漏氣、堵塞現(xiàn)象；

d、采樣錐、截取錐、炬管是否出現(xiàn)污漬，需要清洗；

e、依次對(duì)以下項(xiàng)目作優(yōu)化調(diào)試：霧化器流量、透鏡電壓或自動(dòng)離子透鏡、X-Y調(diào)節(jié)、雙檢測(cè)器優(yōu)化、質(zhì)量軸校準(zhǔn)；

f、完成d項(xiàng)后，需要做儀器性能指標(biāo)的全套優(yōu)化項(xiàng)目，以獲得其最佳校準(zhǔn)值。

2.標(biāo)準(zhǔn)溶液精密度差

a、蠕動(dòng)泵管連接是否正常，有無(wú)漏氣、堵塞現(xiàn)象；

b、霧化器的霧化效率情況，檢查霧化氣流的暢通性和均勻性；

c、炬管是否較長(zhǎng)時(shí)間未清洗，存在污漬。

3.氧化物較高

a、清潔霧室和霧化器，確保霧化氣流暢通無(wú)阻；

b、清洗采樣錐和截取錐，并觀察其孔徑有無(wú)變形，必要時(shí)更換。

4.雙電荷離子偏高

a、檢查調(diào)試溶液是否被污染；

b、采樣錐和截取錐的O形圈變形，引起漏氣。

5.本底值偏高

a、真空度是否較前期偏差；

b、近期是否拆卸過(guò)真空系統(tǒng)，排除安裝時(shí)可能存在的泄漏點(diǎn)；

c、考慮調(diào)節(jié)電子參數(shù)。

6.線性不好

a、檢查空白溶液、標(biāo)準(zhǔn)溶液是否正常，排除污染；

b、重新優(yōu)化雙檢測(cè)器。

7.點(diǎn)不著火

a、RF電纜線連接是否正常；

b、氬氣壓力是否達(dá)到適用范圍；

c、真空度是否達(dá)到點(diǎn)火壓力要求；

d、炬管連接處密閉性能是否正常，檢查O形圈，避免變形和松動(dòng)；

e、氬氣純度及氣路連接是否達(dá)到要求；

f、霧室廢液排出是否正常，避免堵塞；

g、檢查點(diǎn)火線圈的清潔度，清潔污漬。

8.真空系統(tǒng)真空度達(dá)不到

a．點(diǎn)火后真空系統(tǒng)真空度達(dá)不到，檢查采樣錐和截取錐O形圈是否漏氣；

b．點(diǎn)火前真空系統(tǒng)真空度變差，提示真空泵需要保養(yǎng)。

9.點(diǎn)火后，水溫偏高

a、冷卻循環(huán)水設(shè)備的電源未開；

b、冷卻水溫度未設(shè)置在正常值范圍；

c、冷卻循環(huán)水設(shè)備制冷效果欠佳(可能漏水)；

d、水路管道堵塞或者漏水；

e、冷卻循環(huán)水設(shè)備的濾網(wǎng)堵塞；

f、冷卻循環(huán)水設(shè)備故障。

10.儀器無(wú)法聯(lián)機(jī)

a、連接電纜線是否脫落；

b、關(guān)閉等離子體、真空和儀器主機(jī)，重啟計(jì)算機(jī)。

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