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使用MFC對(duì)氣體進(jìn)行微流控制

來源:北京精量科技有限公司   2023年07月19日 15:39  

      對(duì)于氣體質(zhì)量流量控制器MFC來說,在有些場(chǎng)景,例如半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè),分析儀器行業(yè),科研實(shí)驗(yàn)場(chǎng)景等,需要對(duì)氣體進(jìn)行微流控制,使其流量很小,需要小于1SCCM,同時(shí)這種微流控制也需要較高的響應(yīng)時(shí)間,因?yàn)榱髁亢苄?,瞬間就會(huì)在氣路中通過所需的流量,所以如果MFC的響應(yīng)時(shí)間太慢的話,流量控制就很困難。

       我司的高精度氣體質(zhì)量流量控制器MFC,最小量程可以做到2SCCM(滿量程流量),可以控制到0.01SCCM,響應(yīng)時(shí)間<200ms,很適合微流控制。

       對(duì)于這種微流控制,即使是用模擬信號(hào)操控,也需要選用數(shù)字款流量控制器(既帶有數(shù)字信號(hào),也帶有模擬信號(hào)),其內(nèi)部的處理方式是數(shù)字化芯片控制,而模擬款(只帶有模擬信號(hào))則只靠電路的線性控制,數(shù)字款MFC控制的更穩(wěn)定、更精確,尤其是對(duì)微小流量氣體的流量控制,會(huì)體現(xiàn)的更明顯。

       以下是某客戶定制的滿量程為5ml/min的流量控制器,演示視頻,客戶要求流量微小流量控制到0.25ml/min。

            



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