l、 UV（紫外殺菌）
純水機(jī)中使用的UV燈屬于一種低壓汞燈，和普通日光燈一樣，是利用低壓汞蒸汽被激發(fā)后發(fā)射紫外線。發(fā)射出的紫外線有254nm和185nm兩個峰值。UV燈和日光燈的不同之處在于燈管。日光燈的燈管采用的是普通玻璃，254nm紫外線不能透出來；而UV燈的燈管采用石英玻璃制作，各波段紫外線都能很好的透出來。

外線具有很好的殺菌作用，這是因?yàn)榧?xì)胞對光波的吸收譜線有一個規(guī)律，在250~270nm的紫外線有的吸收，被吸收的紫外線實(shí)際上作用于細(xì)胞遺傳物質(zhì)即DNA，它起到一種光化作用，紫外光子的能量被DNA中的堿基對吸收，引起遺傳物質(zhì)發(fā)生變異，使細(xì)菌當(dāng)即死亡或不能繁殖后代，達(dá)到殺菌的目的。

185nm紫外線能夠降解有機(jī)物。研究表明，波長為185nm的紫外線能與水作用，引起水的均裂反應(yīng)，產(chǎn)生活性中間體羥自由基。羥自由基具有的氧化性，引起水中有機(jī)物的降解和礦化，從而使其TOC濃度降低，達(dá)到降解水中TOC的作用。
2、 UF（超濾）

超濾技術(shù)使用孔徑大小通常在 1 至 10 納米的膜濾器來清除像蛋白質(zhì)分子大小的微粒。中空纖維結(jié)構(gòu)的超濾膜通常有較高的濾過速率。
超濾膜通常安裝在靠近純水儀出口處的位置以降低微生物和有機(jī)大分子，包括核酸酶和內(nèi)毒素的濃度。超濾膜必須定期清洗和更換以保持其效能。超濾可以以傳統(tǒng)的方式安裝，所有水流徑直穿透濾膜，或者以更佳的方式——切向流方式，一部分進(jìn)水平行流過膜表面帶走污染物以減少其對膜表面的堵塞。
對于保障超純水在顆粒、細(xì)菌和熱源含量等各項(xiàng)指標(biāo)上保持穩(wěn)定的高質(zhì)量，UF 是一項(xiàng)出色的技術(shù)。
3、 MF（微濾）

純水系統(tǒng)中的微濾器對水中顆粒物和微生物進(jìn)行物理性阻截。微濾器根據(jù)顆粒的大小分級，有較一致的分子結(jié)構(gòu)，截留所有大于其表面孔徑的顆粒。
微濾器（0.1-0.22μm）通常被放置在盡可能接近出水點(diǎn)的地方來捕獲微生物和微細(xì)顆粒。
所截留的顆粒物包括微生物或其代謝物和可溶性物質(zhì)，可能再次從濾器中瀝濾出來，所以對微濾器的適當(dāng)維護(hù)（定期消毒和周期性更換）是必要的，使其性能保持在理想水平。