影像測量儀的測量是單軸、二維平面的測量、三維空間坐標(biāo)的測量。測量時(shí)先對(duì)焦取點(diǎn)最后計(jì)算處理。對(duì)焦對(duì)準(zhǔn)依靠光學(xué)系統(tǒng)，讀數(shù)來自于標(biāo)尺即光柵系統(tǒng)，還有一個(gè)直接影響測量效果和精度的照明光源，因?yàn)槿绻粶y件不能被有效正確的照明的影像方法的測量的儀器，則測量的結(jié)果顯然要偏離其真實(shí)尺寸。除前述因素外，制約測量精度不可忽視的因素也包括環(huán)境條件。于上述分析,可以歸納出以下幾個(gè)方面的誤差來源：

1）光柵計(jì)數(shù)尺的誤差；

2）直線度、角擺在工作臺(tái)移動(dòng)時(shí)帶來的誤差；

3）工作臺(tái)兩測量軸垂直度帶來的誤差；

4）工作臺(tái)面與顯微鏡光軸不垂直帶來的誤差；

5）偏離校準(zhǔn)要求的參考溫度的測量室溫度帶來的誤差；

6）光源照明條件的變化帶來的對(duì)準(zhǔn)和對(duì)焦誤差。

在這幾種因素中，前四項(xiàng)誤差在儀器制造過程中已經(jīng)形成并固定下來，一般無法改變，是硬件誤差。必須通過控制測量室的溫度和等溫過程來減小溫度影響帶來的誤差。在實(shí)際測量中最后一項(xiàng)則常被忽視，被測工件的影像質(zhì)量和照明效果直接受到光源照明條件改變的影響，主要是因?yàn)橛跋駵y量儀的圖像是通過具有自動(dòng)調(diào)節(jié)增益的功能CCD接收，但當(dāng)亮度過大時(shí)則會(huì)失去調(diào)節(jié)功能，導(dǎo)致被測工件影像縮小，當(dāng)亮度過低時(shí)，工件影像反而變大。所以只要注意整個(gè)測量過程中照明條件保持不變，其影響可以忽略，因?yàn)槊總€(gè)重復(fù)圖形結(jié)構(gòu)都同時(shí)在變大或變小，影像變形的影響被間距的測量計(jì)算直接消除了；除了這種特殊情形外,如測量工件的長度、圓的直徑和寬度，都將帶來明顯的誤差。