手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號(hào)：chem17
掃碼關(guān)注視頻號(hào)
DS300簡(jiǎn)介
DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器是基于壓力檢測(cè)原理的質(zhì)量流量控制器，流量控制采用壓電閥控制技術(shù)。產(chǎn)品具有零點(diǎn)漂移小，控制流量穩(wěn)定、可靠，響應(yīng)時(shí)間短、精度高的優(yōu)點(diǎn)，此外還具有壓力不敏感功能，能夠適用較大的氣源壓力波動(dòng)。產(chǎn)品采用全金屬密封，所有與氣體接觸的零件都經(jīng)過(guò)EP處理，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)，如刻蝕設(shè)備上。
DS300外觀圖
電源方式
DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）產(chǎn)品采用開關(guān)電源方式，可支持很寬的雙電源（±8～±16V DC）或單電源（+14～+28V DC），客戶可以根據(jù)需要自行選擇。
電氣接頭
DS300壓力式MFC產(chǎn)品的電氣接頭有DeviceNet接頭和D型陽(yáng)接頭（9針或15針），客戶可以根據(jù)需要自行選擇。
圖1 9針D型陽(yáng)接頭連接圖
圖2 15針D型陽(yáng)接頭連接圖
通訊協(xié)議
DS300壓力式MFC產(chǎn)品支持RS485串行通訊與DeviceNet通訊協(xié)議，客戶可以根據(jù)需要自行選擇，其中RS485串行通訊可以用RS485電纜線和相應(yīng)的適配器與電腦進(jìn)行連接。
圖3 DeviceNet連接圖
圖4 RS485連接圖
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來(lái)源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來(lái)源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問(wèn)題，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購(gòu)中心