精密氣浮隔振光學(xué)平臺能夠滿足精密負(fù)載對振動隔離需求,上面板采用優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁SUS430不銹鋼,臺面內(nèi)核為三層夾心式蜂窩結(jié)構(gòu),內(nèi)核密度大幅度提高,具有優(yōu)秀的硬重比和剛性,同時保證了較低的固有頻率,具備行業(yè)較高的隔振效果。上臺面采用精密磨削工藝,平面度可達≤0.05mm/㎡,表面粗糙度<0.6um,回旋打磨工藝清除毛邊,達到無反射、啞光效果,面板具有M6陣列螺孔,易于固定光學(xué)元件。氣浮支架采用整體焊接工藝(四支撐或六支撐結(jié)構(gòu)),半膜片式空氣彈簧,采用進口三水平調(diào)節(jié)閥技術(shù),反應(yīng)靈敏,響應(yīng)迅速,在超載偏重的實驗條件下,能瞬間恢復(fù)初始的平衡狀態(tài)。支撐腿內(nèi)部為二級氣室結(jié)構(gòu),氣室間帶有阻尼孔,氣動元件全部采用德國FESTO產(chǎn)品,標(biāo)配優(yōu)質(zhì)大功率壓縮機,整體結(jié)構(gòu)保證平臺有較高的穩(wěn)定性。
相關(guān)產(chǎn)品
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