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精密氣浮隔振光學(xué)平臺的主要應(yīng)用

來源:南京譜量光電科技有限公司   2023年11月11日 16:32  

精密氣浮隔振光學(xué)平臺能夠滿足精密負(fù)載對振動隔離需求,上面板采用優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁SUS430不銹鋼,臺面內(nèi)核為三層夾心式蜂窩結(jié)構(gòu),內(nèi)核密度大幅度提高,具有優(yōu)秀的硬重比和剛性,同時保證了較低的固有頻率,具備行業(yè)較高的隔振效果。上臺面采用精密磨削工藝,平面度可達≤0.05mm/㎡,表面粗糙度<0.6um,回旋打磨工藝清除毛邊,達到無反射、啞光效果,面板具有M6陣列螺孔,易于固定光學(xué)元件。氣浮支架采用整體焊接工藝(四支撐或六支撐結(jié)構(gòu)),半膜片式空氣彈簧,采用進口三水平調(diào)節(jié)閥技術(shù),反應(yīng)靈敏,響應(yīng)迅速,在超載偏重的實驗條件下,能瞬間恢復(fù)初始的平衡狀態(tài)。支撐腿內(nèi)部為二級氣室結(jié)構(gòu),氣室間帶有阻尼孔,氣動元件全部采用德國FESTO產(chǎn)品,標(biāo)配優(yōu)質(zhì)大功率壓縮機,整體結(jié)構(gòu)保證平臺有較高的穩(wěn)定性。

應(yīng)用:
顯微鏡系統(tǒng)、激光測試、光學(xué)制造、光電儀器研發(fā)與測試、生物醫(yī)療、精密機械制造、精密化工和無損檢測、集成電子電路、拉曼光譜實驗、精密檢測校準(zhǔn)、對振動要求高的儀器設(shè)備。
中心為蜂窩/井字鋼支撐結(jié)構(gòu),底板為碳鋼,在保證隔振性能得同時,提高了剛性、穩(wěn)定性,臺面精磨;
氣浮支架采用囊式空氣彈簧,每個支撐腿配備由單獨氣室;
采用整體焊接四支撐結(jié)構(gòu),下方為阻尼隔振墊,隔振性能好;
氣浮支架底部帶有高度調(diào)節(jié)功能,可以解決地面不平引起的支架扭曲、變形等情況;
采用原裝德國FESTO空氣伺服系統(tǒng), 自動調(diào)整水平;瞬間達到初始的平衡狀態(tài),提高光學(xué)隔振平臺的隔振效果。


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