高壓汞規(guī)格
全自動UV照射機
概述
高壓汞/金鹵燈全自動UV照射設備是一種使用具有強輻射能的燈管的紫外線固化設備。
裝入工件后,按下啟動按鈕,機器將全自動將工件從料庫中取出,并用紫外燈照射,并存儲,直到料庫中的工件全部完成。
根據目標工作,您可以選擇高壓汞燈和金屬鹵化物燈。
特征
緊湊的機身
可以進行 10 種配方設置(速度根據設置而變化)
可使用觸摸面板以 4 種方式設置功率
顯示累積照射量和紫外線照射強度(僅照射期間)
可根據照射對象選擇高壓汞燈/金屬鹵化物燈
配備自動設置變更功能,可自動切換至不同尺寸
不僅可以照射切割框,還可以照射握持環(huán)。
具備判斷UV照射是否完成的功能。
目的
可用于LSI晶圓、存儲器晶圓、LED晶圓、激光晶圓、傳感器晶圓、功率器件晶圓等各種工藝。
規(guī)格
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尺寸 | 寬1300×深1400×高1350(毫米) | |
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重量 | 約400公斤 | |
駕駛空氣 | 0.4Mpa以上 | |
紫外線照度 | 200mW/cm2以上 | |
氮氣 | 0.2Mpa以上 100L/min以上 | |
電源 | 交流三相200V 50/60Hz 100A |
*尺寸適用于 8 英寸類型。
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