Bruker布魯克 JV-QCVelox 產(chǎn) 品 概 述

Bruker’的 JV-QCVelox 是長(zhǎng)期運(yùn)行的 JV-QC 儀器中HRXRD。
它是化合物半導(dǎo)體行業(yè)高分辨率 X 射線(xiàn)衍射的專(zhuān)用質(zhì)量控制工具。 它適用于表征所有常見(jiàn)的半導(dǎo)體襯底，包括Si、GaAs、InP、GaN 等。
測(cè)量可以部分或自動(dòng)化運(yùn)行，用戶(hù)可自定義的腳本處理日常工作。

VeloMAX™ 光學(xué)器件：通過(guò) 10 倍以上的強(qiáng)度改進(jìn)實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)率

JV-QC-Velox 系統(tǒng)的入射光束包括許多標(biāo)準(zhǔn)功能以獲得高強(qiáng)度。 晶體選擇根據(jù)材料進(jìn)行了優(yōu)化：

·在不損失分辨率的情況下，提高了通量并提高了可重復(fù)性。
·在不降低分辨率的情況下，可以實(shí)現(xiàn)比以前更快的測(cè)量和更高的精度。 這是在 MQW 分析中保持準(zhǔn)確的成分值的關(guān)鍵。
·多層反射鏡作為所有 JV-QC-Velox 系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置
·對(duì)于高鑲嵌樣品，使用 25 英寸的調(diào)節(jié)晶體發(fā)散角來(lái)增強(qiáng)系統(tǒng)（標(biāo)配）
·對(duì)于傳統(tǒng)的 III-V 系統(tǒng)，可以提供更高分辨率的調(diào)節(jié)晶體 (<10”) 來(lái)代替 25” 晶體（需要在采購(gòu)訂單上注明）
·系統(tǒng)的校準(zhǔn)可以輕松安全地進(jìn)行，機(jī)柜中沒(méi)有開(kāi)梁。

·檢測(cè)器級(jí)包括許多標(biāo)準(zhǔn)功能，可以增強(qiáng)系統(tǒng)的能力
·EDRc（增強(qiáng)動(dòng)態(tài)范圍）檢測(cè)器的動(dòng)態(tài)范圍 > 2x107
·自動(dòng)衰減器，通過(guò)控制軟件進(jìn)行控制。這將系統(tǒng)動(dòng)態(tài)范圍增加到超過(guò)3x108

·三軸晶體是獲得所需晶體的關(guān)鍵GaN測(cè)量的分辨率。
·電動(dòng)探測(cè)器狹縫允許對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行控制分辨率，無(wú)需手動(dòng)更換模塊
·所有探測(cè)器級(jí)組件都是自動(dòng)對(duì)齊的通過(guò)電腦