半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗。微量污染也會導(dǎo)致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì)，包括有機(jī)物和無機(jī)物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài)，有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機(jī)污染包括光刻膠、有機(jī)溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維。無機(jī)污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等，嚴(yán)重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導(dǎo)；堿金屬如鈉等，引起嚴(yán)重漏電；顆粒污染包括硅渣、塵埃、細(xì)菌、微生物、有機(jī)膠體纖維等，會導(dǎo)致各種缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化學(xué)清洗兩種。

晶圓、鏡片、玻璃、電路板表面檢測用 LED超高亮度光源 PSVLX1-F5016

特點： 1. LED冷光源，不會在照射表面產(chǎn)生高溫。 2. 20000小時長壽命。 3. 采用低功耗高效LED，無風(fēng)扇自然散熱，適合無塵車間使用。 4. 通過使用可選配件濾鏡，可在黃光和白光之間切換。 規(guī)格： 照度 LWD 150mm時， 15萬Lux。 光斑大小 LWD 150mm時， 光斑直徑65~80mm可調(diào)。 電壓 AC 100~240V。 消耗功率 最大30W。 重量 光源 1.7Kg，電源0.8Kg。 最大尺寸 長290mm，寬180mm，高610mm。