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三通道混氣CVD系統(tǒng)的使用注意事項(xiàng)

來(lái)源:上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司   2023年12月23日 13:42  
三通道混氣CVD系統(tǒng)殼體結(jié)構(gòu):
雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷。
保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,可以減少熱量的損失,環(huán)保節(jié)能。
內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命可開(kāi)啟式,更換爐管方便。
溫控系統(tǒng):
三個(gè)精密溫度控制器,可獨(dú)立控溫PID控制方式,通過(guò)PWM固體繼電器。
30段可編程智能溫度調(diào)節(jié)儀,并可設(shè)置30段升降溫程序。
帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。
使用注意事項(xiàng):
爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。 
由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa會(huì)更加精確安全。 
當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)。 
進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊。
石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)。
 

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