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日本SEM坂本電機精密水準(zhǔn)儀的應(yīng)用

來源:池田屋實業(yè)(深圳)有限公司   2024年01月28日 19:17  

什么是精度等級?

精密水平儀用于檢查制造過程中的水平度,例如需要高水平標(biāo)準(zhǔn)的精密設(shè)備。通過測量液體內(nèi)部氣泡的位置,精密水平儀的位置決定了液位的陡度。水平儀的精度由 JIS 標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)格定義。基本上,水平度是通過目視檢查的,但也可以使用精密水平儀,通過傳感器測量氣泡的位置,并可以獲得數(shù)字信號的傾斜度。

精密水準(zhǔn)儀的應(yīng)用

精密水準(zhǔn)儀用于需要高精度的制造現(xiàn)場,例如精密儀器、半導(dǎo)體、顯示器等的制造過程中。在機床和制造設(shè)備操作前或安裝過程中使用。它們也可以安裝在每項任務(wù)都需要高度平整的設(shè)備上。選擇精度等級時,需要考慮測量精度、抗振性、是數(shù)字型還是模擬型、是否適合使用的環(huán)境、測量的難易程度、尺寸等。

精度等級原理

我們將解釋精密水平儀的測量原理。精密水準(zhǔn)儀由確保水平度的精確刻度容器和連接容器的精密外殼組成。該容器稍微彎曲并包含一定量的液體和氣體。數(shù)字型的情況下,圖像傳感器內(nèi)置于觀察氣泡的部分。

目視測量時,通過目視檢查容器上刻度上氣泡所在的位置來確定精密水準(zhǔn)儀所在位置的斜率。如果是數(shù)字型,內(nèi)置控制板通過處理從傳感器獲得的圖像來計算傾斜度,并將其顯示在顯示器上。它還可以將傾斜度作為電信號傳輸?shù)狡渌蛇B接設(shè)備,執(zhí)行反饋控制,并充當(dāng)傳感器以保持水平度。由于其機制,在振動較大或高溫的環(huán)境中可能無法正常工作,因此請小心。

精度等級類型

精密級的結(jié)構(gòu)和精度由日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JIS確定。

精度等級根據(jù)靈敏度分為三種類型。根據(jù) JIS 標(biāo)準(zhǔn),水平儀的靈敏度分為三種類型:類型 1(0.02 毫米/米,約 4 秒)、類型 2(0.05 毫米/米,約 10 秒)和類型 3(0.1 毫米/米,約 10 秒)。 20 秒)。靈敏度是氣泡移動一格所需的傾斜角度,靈敏度顯示是基于相對于1米底座的高度。

例如,在類型1的情況下,用1個刻度每1米的底座檢測到0.02mm的高度。當(dāng)氣泡使用300mm水平儀(類型1:靈敏度0.02mm/m)移動一個刻度時,水平儀一端到另一端有6μm的高度差。

靈敏度也以傾斜角度(秒)表示。一秒的角度為每米 4.85 μm。

  • 1 級 0.02mm/m = 角度 4 秒 = 0.00111°

  • 類型 2 0.05mm/m = 角度 10 秒 = 0.00277°

  • 類型 3 0.1mm/m = 角度 20 秒 = 0.0055°

精度等級等級

根據(jù)JIS標(biāo)準(zhǔn),精度等級根據(jù)其性能(精度)分為A-級和B級。各性能的交集如下。準(zhǔn)確度是測量儀器所表示的數(shù)值或測量結(jié)果的整體質(zhì)量,包括準(zhǔn)確度和精密度(變異程度?。侵笢y量中的變異程度。進行測量時,測量值為±精度,±精度中包含用于測量目的的真實值。

根據(jù)JIS,精度如下。

  • 全量程精度(1種):A-級±0.5刻度,B級±0.7刻度

  • 全量程精度(2級和3級):A-級±0.3刻度,B級±0.5刻度

  • 相鄰精度(1級、2級、3級):A-級0.2級、B級0.5級

A-級和B級精度不同,精度值又分為1型、2型、3型、全量程精度、鄰近精度。如精度等級類型中所述,類型 1、類型 2 和類型 3 是根據(jù)精度等級的靈敏度而有所不同。全量程精度是指精密水平儀在其整個量程范圍內(nèi)的精度。相鄰精度是相鄰刻度精度的規(guī)范。



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