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常見覆蓋層測量的典型測量范圍

來源:深圳市藝慈儀器有限公司   2024年03月06日 15:30  

常見覆蓋層測量的典型測量范圍

表A.1   常見覆蓋層測量的測量范圍

覆蓋層

基體

近似厚度范圍

μm

in

0~100.0

0~0.004

0~60.0

0~0.0024

0~30.0

0~0.0012

0~30.0

0~0.0012

塑料

0~30.0

0~0.0012

陶瓷

0~8.0

0~0.00032

銅和鎳

0~8.0

0~0.00032

銅和鎳

0~15.0

0~0.0006

0~30.0

0~0.0012

陶瓷

0~30.0

0~0.0012

0~30.0

0~0.0012

0~30.0

0~0.0012

0~40.0

0~0.0016

-鎳合金

0~20.0

0~0.0008

0~7.0

0~0.00028

銅或鎳

0~50.0

0~0.0020

銅或鎳

0~50.0

0~0.002

0~60.0

0~0.0024

銅或鎳

0~60.0

0~0.0024

-鉛合金

銅或鎳

0~40.0

0~0.0016

0~40.0

0~0.0016


1:在整個范圍內(nèi)測量不確定度不是恒定的,而且靠近每個范圍兩端會增大。

2:所給定的范圍是近似的,而且主要取決于可接受的測量不確定度。

3:如果同時測量表層和中間層,由于熒光X射線光束的各種相互作用,即表層會吸收中間層的熒光,那么各覆蓋層材料可測厚度范圍會發(fā)生變化,例如測量在銅上的金和鎳時,若金覆蓋層厚度超過2.0微米,則無足夠的熒光保證鎳層高精度測量。

4:當進行厚度大于0微米(如銅或鎳上的金:±0.005微米)覆蓋層厚度測量過程中,測量不確定度。這就必須了解測量范圍的下線。




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