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工業(yè)及半導(dǎo)體行業(yè)的三維液壓顯微機(jī)械手
MHW-3型
三維液壓顯微機(jī)械手
用于膜片夾的成熟液壓顯微機(jī)械手。
簡(jiǎn)介
這是我們第一款為貼片夾緊而開發(fā)的液壓顯微機(jī)械手。 它使用 5：1 墨盒，通過(guò)使用液壓液壓類型實(shí)現(xiàn)精細(xì)運(yùn)動(dòng)并減少漂移，液壓類型由于溫度變化而具有比液壓系統(tǒng)更低的膨脹率。 用于微動(dòng)的驅(qū)動(dòng)單元和粗機(jī)械手配備了大而堅(jiān)固的類型，球形接頭也是一種強(qiáng)大的類型。 它基于安裝在雙適配器或隔離臺(tái)上，并且可以牢固地設(shè)置，例如移除桿上的所有連接。 控制單元采用帶大手柄的滾筒式，可實(shí)現(xiàn)精細(xì)操作和線性位置的高再現(xiàn)性。 它在設(shè)計(jì)時(shí)考慮了良好的驅(qū)動(dòng)和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。
產(chǎn)品介紹
* 要將本儀器安裝在顯微鏡上，需要一個(gè)適合顯微鏡的單獨(dú)安裝適配器。
* 主體可直接安裝在隔離臺(tái)上。
* 如果您使用 GJ-12 薄磁支架（單獨(dú)出售），您可以將其牢固地固定在隔離臺(tái)上的任何位置。
* 用于貼片放大器的適配器 AP-13-2 可以連接到連接到機(jī)械手的球形接頭 B-9 上。
* 通過(guò)將可選的一維液壓顯微機(jī)械手 MHW-4 連接到機(jī)械手的球形接頭 B-9 上，可以進(jìn)行四維遠(yuǎn)程驅(qū)動(dòng)。
性能
| 附屬品 | 球形接頭 B-9 電極支架 H-12 扳手 | |
|---|---|---|
| 行駛距離 | 粗大運(yùn)動(dòng) | X、Y、Z 30 mm 各旋轉(zhuǎn) 1 圈手柄約 4 mm |
| 震顫 | X、Y、Z 各 2mm，手柄 1 旋轉(zhuǎn) 50μm 最小 刻度 0.2μm | |
| 尺寸和重量 | 操作單元 | W115 × D115 × H132mm、1.6kg |
| 驅(qū)動(dòng)單元 | W155 × D155 × H100mm、900g | |
| 液壓油管長(zhǎng)度 | 0.9米 | |
特點(diǎn)
是主機(jī)和標(biāo)準(zhǔn)配件。是可以連接的主要配件。表示安裝適配器的類型。
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