日本sumitomo住友化學(xué)超高純鋁用于顯示器、半導(dǎo)體材料、低溫傳熱材料等領(lǐng)域

超高純鋁純度高達99.9999%，用于平板顯示器、半導(dǎo)體布線材料、低溫區(qū)域傳熱材料等高性能領(lǐng)域。

高純度鋁由于通過表面處理得到介電常數(shù)及絕緣性優(yōu)異氧化被膜、雜質(zhì)元素及異物少、電及熱的傳導(dǎo)性高等原因，所以鋁作為鎳電解電容器用陽極箔、硬盤基板、接合線、半導(dǎo)體或液晶面板用布線材料等電子用材料被廣泛地利用于用途。最近，利用低溫下優(yōu)異的物性，也用作超導(dǎo)穩(wěn)定化導(dǎo)體或熱傳導(dǎo)材料。本公司是高純鋁生產(chǎn)商，其技術(shù)和質(zhì)量長期以來一直受到用戶的高度評價。本報告介紹高純度鋁的純化方法、低溫特性及應(yīng)用例。

通過在超高真空中溶解高純度鋁原料而進行純化的方法稱為超高真空溶解純化法。其原理一般認(rèn)為是鋁和雜質(zhì)元素的飽和蒸汽壓差。在此，對以可進行工業(yè)批量生產(chǎn)的本公司的6N鋁為原料進行超高真空溶解純化的結(jié)果進行敘述4），5）。將原材料加工成圓柱，配置在真空槽中的冷卻坩堝中。通過高頻加熱使原料在高真空中溶解，保持規(guī)定時間后，逐漸降低高頻功率使其凝固。溶解前到達真空度為3倍10–8 Pa，溶解中的真空度為3～6倍10-6 Pa。熔化后的試樣的外觀和截面如Fig.3所示。位置F的上部是通過真空溶解精制的區(qū)域，通過緩慢冷卻得到粗大的晶粒。高純度超過5N時，低于成分分析的定量下限的成分增加，雜質(zhì)合計值的標(biāo)記困難，因此，作為高純度的指標(biāo)使用殘留電阻比RRR（Residual ResistivityRatio）的情況較多。簡單地說明RRR，是低溫（一般為4.2K）下的導(dǎo)電率與室溫下的導(dǎo)電率之比，