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二合一超快SEM解決方案通過在FE槍和聚光透鏡之間引入脈沖發(fā)生器，并利用皮秒級(jí)射頻電激發(fā)電子束，從而實(shí)現(xiàn)了超高時(shí)間和空間分辨的掃描成像。此外，該解決方案通常還結(jié)合了飛秒激光泵浦樣品聯(lián)動(dòng)技術(shù)，進(jìn)一步增強(qiáng)了其性能。
核心特點(diǎn)：
百皮秒級(jí)射頻電激發(fā)電子束：通過使用脈沖發(fā)生器，能夠在皮秒級(jí)的時(shí)間內(nèi)激發(fā)電子束，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的超快表征。
飛秒激光泵浦樣品聯(lián)動(dòng)：結(jié)合飛秒激光技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)樣品的快速、準(zhǔn)確的聯(lián)動(dòng)分析。
超高時(shí)間和空間分辨：由于采用了上述技術(shù)，二合一超快SEM解決方案能夠在保持原始掃描電鏡光束質(zhì)量的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)超高時(shí)間和空間分辨的掃描成像。
保持原始固有空間分辨率：在電激發(fā)下，該解決方案能夠保持SEM的原始固有空間分辨率，確保成像的清晰度和準(zhǔn)確性。
二合一超快SEM解決方案在汽車、微電子、藥品和醫(yī)療器械等行業(yè)具有廣泛的應(yīng)用前景。特別是在需要快速、準(zhǔn)確地對(duì)樣品進(jìn)行清潔度分析、成分分析和微結(jié)構(gòu)表征的場(chǎng)合，該解決方案能夠顯著提高工作效率和準(zhǔn)確性。
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