光學(xué)3D表面輪廓儀
工作原理：
1.光源與分光：儀器的光源發(fā)出的光束首先通過擴(kuò)束準(zhǔn)直，然后通過分光棱鏡分成兩束光。一束光直接投射到被測(cè)表面，另一束光則投射到參考鏡上。
2.反射與干涉：從被測(cè)表面反射回來的光束與從參考鏡反射回來的光束在分光棱鏡處匯聚，由于兩束光在不同的路徑上行進(jìn)，它們之間存在光程差。當(dāng)兩束光的光程差為半波長的整數(shù)倍時(shí)，它們會(huì)發(fā)生干涉，形成明暗相間的干涉條紋。
3.成像與分析：光學(xué)3D表面輪廓儀將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)。通過測(cè)量這些干涉條紋的變化，可以推算出被測(cè)表面的三維形貌。系統(tǒng)軟件對(duì)這些數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和分析，從而得到表面的粗糙度、臺(tái)階高度、幾何輪廓等參數(shù)。
測(cè)量能力：
1.粗糙度測(cè)量范圍：SuperViewW光學(xué)3D表面輪廓儀能夠測(cè)量從超光滑表面（0.1nm粗糙度）到相對(duì)粗糙表面（1mm粗糙度）的三維形貌。
2.垂直分辨率：SuperViewW光學(xué)3D表面輪廓儀可以達(dá)到0.1nm的垂直分辨率，這對(duì)于測(cè)量光滑表面的微小高度變化至關(guān)重要。
3.水平分辨率：水平分辨率取決于儀器的掃描范圍和傳感器的像素大小，它決定了可以測(cè)量的最小特征尺寸。
4.速度：光學(xué)3D表面輪廓儀視圖與分析工具同框設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)分析過程的所見即所得，大大縮減了操作時(shí)間；且批量測(cè)量樣品時(shí)，無需精確對(duì)焦，即可一鍵完成測(cè)量分析，有效提高生產(chǎn)效率。SuperViewW光學(xué)3D表面輪廓儀可加裝高速掃描模塊W-Ultra，在0.1nm分辨率下，其掃描速度提升到原機(jī)型的4倍以上。
5.非接觸式測(cè)量：非接觸式測(cè)量方式不會(huì)對(duì)樣品表面造成損傷，這對(duì)于易損或敏感材料非常重要。
在納米級(jí)表面粗糙度分析中的測(cè)量優(yōu)勢(shì)：
光學(xué)3D表面輪廓儀的特殊光源模式可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量。

在納米級(jí)表面粗糙度分析中，光學(xué)3D表面輪廓儀能夠測(cè)量從超光滑表面到相對(duì)粗糙表面的三維形貌，覆蓋從0.1nm到1mm的粗糙度范圍。