冷場發(fā)射掃描電鏡是一種用于材料科學(xué)、化學(xué)領(lǐng)域的分析儀器,在FE-SEM的觀察和分析中,需要根據(jù)測量樣品與需求調(diào)整觀察條件。調(diào)整所需時(shí)間的長短取決于用戶的操作熟練度,這是造成數(shù)據(jù)質(zhì)量與效率差異的因素之一。此系列產(chǎn)品標(biāo)配自動調(diào)整功能,可避免人為操作導(dǎo)致的差異。
創(chuàng)新點(diǎn):
1、支持自動獲取數(shù)據(jù)在FE-SEM的觀察和分析中,需要根據(jù)測量樣品與需求調(diào)整觀察條件。調(diào)整所需時(shí)間的長短取決于用戶的操作熟練度,這是造成數(shù)據(jù)質(zhì)量與效率差異的因素之一。此系列產(chǎn)品標(biāo)配自動調(diào)整功能,可避免人為操作導(dǎo)致的差異。此外,隨著儀器性能的提升,需要獲取的數(shù)據(jù)種類與數(shù)量也在增加,手動獲取各種大量數(shù)據(jù)會大大增加用戶的作業(yè)負(fù)擔(dān)。此系列產(chǎn)品可選配“EMFlow Creator",用戶可根據(jù)自身需求設(shè)定條件,自動獲取數(shù)據(jù),這對于未來通過獲取大量數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)驅(qū)動開發(fā)起到重要作用。
2、增加獲取信息的種類與數(shù)量通過SEM能夠收集到多種信號,且此系列產(chǎn)品可以同時(shí)顯示和存儲6個(gè)檢測器的信號。在減少圖像獲取次數(shù)的同時(shí)能夠獲取多種信息。此外,為一次性獲取大量信息,像素?cái)U(kuò)展到了40,960 x30,720(選配),是之前型號的64倍。利用這一功能,可憑借一張數(shù)據(jù)圖像有效評估多處局部的細(xì)微結(jié)構(gòu)。
3、增強(qiáng)信號檢測能力,SU8600開發(fā)了多個(gè)新型選配檢測器,加強(qiáng)了對凹凸信息、發(fā)光信息的檢測能力。此外,還提高了背散射電子信號檢測的響應(yīng)速度。
相關(guān)產(chǎn)品
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