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在材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)及納米技術(shù)等領(lǐng)域，掃描電鏡（SEM）作為重要的分析工具，其應(yīng)用日益廣泛。澤攸科技推出的臺式掃描電鏡，憑借其緊湊的設(shè)計(jì)、高清晰度的成像及便捷的操作流程，受到了科研人員的青睞。以下將詳細(xì)介紹澤攸臺式掃描電鏡的使用方法。
一、準(zhǔn)備工作
1.環(huán)境準(zhǔn)備：確保操作環(huán)境相對干燥、無塵、無震動，以保證掃描效果的穩(wěn)定和準(zhǔn)確。
2.樣品準(zhǔn)備：樣品表面需進(jìn)行導(dǎo)電處理，如金屬噴霧或蒸鍍，以消除電荷積累對成像的影響。同時，樣品表面應(yīng)光滑平整，避免劃痕或污染。
3.設(shè)備檢查：檢查掃描電鏡各部件是否完好，電源連接是否穩(wěn)定，真空泵是否正常工作。
二、開機(jī)與樣品放置
1.開機(jī)：按照正確的順序開啟各部件的電源，先開啟電鏡控制器，再開啟高壓電源等。
2.放入樣品：將準(zhǔn)備好的樣品放置在樣品臺上，并固定好。
3.抽真空：啟動真空泵，將真空度抽至0.01并保持，直至開槍按鈕常亮后，點(diǎn)擊開槍按鈕。
三、參數(shù)設(shè)置與圖像調(diào)整
1.電壓設(shè)置：根據(jù)需要設(shè)定合適的電壓值。
2.光斑直徑與亮度對比度：將“光斑直徑”調(diào)整至“粗”或“中”，勾選“自適應(yīng)”按鈕，調(diào)整“亮度”和“對比度”，直至出現(xiàn)較為明亮的圖像。
3.聚焦與微調(diào)：粗調(diào)“聚焦”條，使圖像初步清晰。然后，在低倍數(shù)下將倍數(shù)放大至大于所需拍攝倍數(shù)，如拍攝1000倍則放大至5000或10000倍，通過“聚焦微調(diào)”圓鈕調(diào)整至圖像清晰。隨后，切換至“鏡組配置”，調(diào)整“消像散”條，進(jìn)一步優(yōu)化圖像清晰度。
四、拍照與保存
1.倍數(shù)調(diào)整：將倍數(shù)調(diào)整至所需拍照倍數(shù)。
2.拍照設(shè)置：選擇合適的采集幀數(shù)和平均點(diǎn)數(shù)。關(guān)閉十字準(zhǔn)心，準(zhǔn)備拍照。
3.拍照與保存：點(diǎn)擊拍照按鈕，完成拍攝。及時保存圖像和數(shù)據(jù)，以免丟失。
五、高倍拍攝與SE模式切換
對于需要拍攝高倍圖像的情況，可重復(fù)上述低倍拍攝步驟，并在調(diào)焦、像散調(diào)整等環(huán)節(jié)更加精細(xì)。此外，澤攸臺式掃描電鏡還支持SE模式拍攝，通過點(diǎn)擊“基礎(chǔ)”選項(xiàng)卡中的“se”按鈕，輸入合適的收集電壓并調(diào)整se增益，即可切換到SE模式進(jìn)行觀察和拍照。
六、關(guān)機(jī)與維護(hù)
1.關(guān)機(jī)：按照正確的順序關(guān)閉各部件電源，先關(guān)閉高壓電源，再關(guān)閉電鏡控制器等。
2.維護(hù)：定期對掃描電鏡進(jìn)行清潔和維護(hù)，如清理樣品室、檢查真空泵等部件的工作狀態(tài)。注意在維護(hù)過程中遵循安全規(guī)范，如斷電、拔掉電源線等。
通過以上步驟，用戶可以輕松掌握澤攸臺式掃描電鏡的使用方法，并在科研和生產(chǎn)中發(fā)揮其強(qiáng)大的分析功能。
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