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通常氣瓶的氣體需要通過減壓閥調(diào)節(jié)到一個比較低的壓力才會連接到MFC。當(dāng)氣瓶壓力過低時，就需要更換氣瓶。但是有的客戶在換上新的氣瓶后發(fā)現(xiàn)MFC已經(jīng)損壞了，這是為什么呢？
首先我們需要了解一下減壓閥的工作原理。
手動調(diào)壓閥是通過調(diào)節(jié)彈簧壓緊量，使閥口打開，氣體經(jīng)過閥口流向后端，當(dāng)出口壓力逐漸上升到調(diào)定壓力時，向上頂起膜片的氣體壓力逐漸增大，直到彈簧力和出口氣體壓力達(dá)到平衡。
如果此時把氣瓶拆掉，入口沒有高壓氣體了，彈簧力會使減壓閥的閥口開到一個比較大的開度。接上新的氣瓶并打開氣瓶開關(guān)后，高壓氣體突然進(jìn)入減壓閥，由于壓力在氣體中傳播非常快，減壓閥的閥口又開得比較大，高壓氣體會瞬間直接經(jīng)過減壓閥，傳遞到后端。減壓閥膜片感應(yīng)到出口氣體壓力上升，逐漸將閥口關(guān)小直至關(guān)閉。但是剛才的瞬間高壓足以到達(dá)MFC內(nèi)部，導(dǎo)致MFC的傳感器損壞。
因此正確的更換氣瓶的做法是將減壓閥關(guān)閉，再更換氣瓶?；蛘咴跍p壓閥后接截止閥，更換氣瓶時關(guān)閉截止閥，就可以有效保護(hù)MFC及整個系統(tǒng)了。
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