ceratech真空吸盤（多孔吸盤）產(chǎn)品介紹

來源：秋山科技（東莞）有限公司 2024年08月13日 16:03

ceratech真空吸盤（多孔吸盤）產(chǎn)品介紹

制造方法提高了多孔部分和基部之間的粘合性，并且即使在邊界處也形成了足夠平坦的表面。
因此，可以在晶片減薄工藝和需要大型基板的全表面吸附的制造工藝中提供高生產(chǎn)率和可靠性。
多孔體可以根據(jù)用戶需求靈活選擇材料和孔徑。
還可以在陶瓷底座中設(shè)置中空凹槽以用于冷卻目的。

　*根據(jù)用途也可提供表面涂層。（脫模涂層、導電涂層等）

特性表

	型號	密度g/ cm3	彈性模量GPa	彎曲強度MPa	熱膨脹系數(shù)×10 -6 /K	導熱系數(shù)W/m?K	電阻值Ω·cm
氧化鋁	A995	3.9	380	450	7.3	30	>10 14
多孔氧化鋁	-	2.5	55	50	7.4	-	10 11
碳化硅	標準品	3.1	410	500	4.6	170	10 6
多孔碳化硅	-	2.1	55	50	4.7	-	10 6

　通過對多孔體施加負壓來吸附并固定被吸附物。

　陶瓷內(nèi)部形成中空結(jié)構(gòu)，因此無需擔心泄漏。

相關(guān)產(chǎn)品

凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責任。
本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權(quán)行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責任。
如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。