手機版
化工儀器網手機版
化工儀器網小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
聚焦離子束電鏡是一種利用高能量的離子束對樣品表面進行掃描、成像和加工的技術，通過在同一設備中集成電子束和離子束，實現了對樣品的高精度成像和加工。
聚焦離子束電鏡的工作原理可以分為以下幾個步驟：
1、離子源產生離子：一個液態(tài)金屬在加熱后形成氣體，通過施加高電壓使氣體中的金屬原子電離，形成離子。這些離子隨后被提取并通過一系列透鏡系統(tǒng)進行聚焦。
2、離子束的聚焦與掃描：經過聚焦的離子束直徑可以達到幾十納米甚至更小，具有高的能量密度。這個細小的離子束被精確控制，可以在樣品表面進行掃描。
3、樣品表面的相互作用：當高能離子束撞擊樣品表面時，會與樣品材料發(fā)生相互作用，包括物理撞擊導致的材料去除、化學反應以及二次電子和離子的發(fā)射等。這些相互作用可以用來對樣品進行刻蝕、沉積或成像。
4、成像與分析：通常配備有二次電子探測器和離子探測器，可以收集從樣品表面發(fā)射出的二次電子和離子。通過分析這些信號，可以得到樣品表面的高分辨率圖像。
5、微納加工：一個重要應用是微納加工，它能夠在微米甚至納米尺度上對材料進行精確切割、鉆孔、沉積和修復。這種加工能力使得其在半導體制造、材料科學、失效分析等領域有著廣泛的應用。
6、三維成像與切片：還可以用于三維成像技術，通過逐層去除樣品材料并成像，可以獲得樣品內部的三維結構信息。
聚焦離子束電鏡因其高精度的加工能力和成像功能，在材料科學、半導體工業(yè)、生物學以及地質學等多個領域都有重要的應用。它可以用于樣品的準備、微觀結構的觀察、故障分析以及納米級器件的制造和修改。
免責聲明
- 凡本網注明“來源：化工儀器網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網”。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源（非化工儀器網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內與本網聯(lián)系，否則視為放棄相關權利。
采購中心