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小王子分享關(guān)于半導(dǎo)體曝光設(shè)備的價(jià)格

來源:深圳市京都玉崎電子有限公司   2024年08月30日 19:22  

小王子分享關(guān)于半導(dǎo)體曝光設(shè)備的價(jià)格

半導(dǎo)體光刻設(shè)備目前對于半導(dǎo)體的高效量產(chǎn)來說是,但據(jù)稱它是精密的機(jī)器,而且價(jià)格昂貴。

半導(dǎo)體曝光設(shè)備中使用的光源的波長越短,可以形成的圖案越精細(xì),并且曝光設(shè)備變得越昂貴。據(jù)稱每個(gè)波長的成本為i-line約4億日元、KrF約13億日元、ArF干式約20億日元、ArF浸沒式約60億日元、EUV約200億日元。

電路越小,可以實(shí)現(xiàn)越快的信號傳輸和節(jié)能,但近年來,由于小型化,無法忽視工藝成本的增加,包括半導(dǎo)體曝光設(shè)備的價(jià)格。

就半導(dǎo)體光刻設(shè)備所需的性能而言,從半導(dǎo)體制造的成本角度來看,半導(dǎo)體光刻設(shè)備的吞吐量也是一個(gè)重要指標(biāo)。吞吐量是表示電路圖案曝光速度的性能,隨著吞吐量的增加,每個(gè)硅芯片的制造成本(運(yùn)行成本)會降低。這在半導(dǎo)體芯片的大規(guī)模生產(chǎn)過程中非常重要。


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