精品国产亚洲国产亚洲,久热中文在线观看精品视频,成人三级av黄色按摩,亚洲AV无码乱码国产麻豆

產(chǎn)品推薦:氣相|液相|光譜|質(zhì)譜|電化學(xué)|元素分析|水分測定儀|樣品前處理|試驗機|培養(yǎng)箱


化工儀器網(wǎng)>技術(shù)中心>其他文章>正文

歡迎聯(lián)系我

有什么可以幫您? 在線咨詢

半導(dǎo)體晶圓變形程度如何影響其應(yīng)力

來源:北京卓立漢光儀器有限公司   2024年09月20日 10:13  

晶圓應(yīng)力檢測是半導(dǎo)制造過程中極為重要的一環(huán)。傳統(tǒng)上晶圓的內(nèi)應(yīng)力大多都不是直接測量的,而是通過曲率法間接進行測量的,也就是用各種辦法測量出晶圓的形變程度(例如翹曲度),再通過幾何形變與應(yīng)力之間著名的斯托尼方程(Stoney’s Equation)計算出晶圓的應(yīng)力。那么問題就來了:晶圓是形變越大應(yīng)力就一定越大么?

這個在硅半導(dǎo)體中大抵是沒有問題的。硅工業(yè)發(fā)展到今天,晶圓的質(zhì)量已得到了很好的控制,缺陷密度極低。晶圓的形變主要由晶格常數(shù)的變化——也就是晶格共價鍵的拉伸、壓縮和扭轉(zhuǎn)引起,這種情況符合基于彈性形變理論的斯托尼方程所描述的狀況。

而在SiC等寬禁帶半導(dǎo)體身上情況就不同了——有大量的位錯、層錯等晶格缺陷存在。自從1931年Berg第一個從拍攝的X-射線單晶形貌像中發(fā)現(xiàn)塑性形變以來,位錯等晶格缺陷被認為是塑性形變的主要來源之一。這種情況下,通過測量晶圓幾何形變進而通過斯托尼方程計算出應(yīng)力的方法就值得商榷了。而下面就是一個翹曲度變化和應(yīng)力變化趨勢相反的例子。

半導(dǎo)體晶圓變形程度如何影響其應(yīng)力

圖 1 用拉曼光譜法測量半片6吋SiC應(yīng)力分布。(a)未打開真空吸氣,樣品自然放置在樣品盤上,有翹曲但應(yīng)力分布均勻;(b)打開真空吸氣將樣品吸牢在樣品盤上,樣品中間部位明顯出現(xiàn)應(yīng)力集中區(qū)域(偽彩色為紅色的區(qū)域)。

如圖 1 所示,采用共焦方法在樣品表面逐點采集SiC拉曼光譜,并對777 cm-1附近的特征峰進行擬合,通過峰位的移動計算應(yīng)力的大小,進而得出在整個樣品上的分布。我們可以看到未開吸氣、樣品自然放置的時候,雖然有翹曲但應(yīng)力分布在整個表面是均勻的;而當(dāng)打開真空吸氣將樣品吸牢時,雖然翹曲降低、樣品被吸平了,但是中央部分出現(xiàn)了明顯應(yīng)力集中的區(qū)域。從原理上,這種方法測應(yīng)力,直接反映的就是晶格共價鍵的形變對聲子譜造成的影響,從而與位錯等缺陷引起的塑性形變沒有直接的關(guān)系。當(dāng)然,對這么大且有翹曲的樣品進行拉曼光譜掃描成像的測試,沒有帶激光自動聚焦跟蹤表面功能的自動化掃描系統(tǒng)的支持是不可能的,而這也正是我司面向半導(dǎo)體工業(yè)的R1系列晶圓級共焦拉曼光譜儀的主要特色之一。

目前北京卓立漢光儀器有限公司與本文作者所在蘇州惟光探真科技有限公司基于共同的理念和目標(biāo),決定在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域開展深入合作。合作旨在為廣大國內(nèi)外用戶在微米到納米尺度的纖維光學(xué)和光譜學(xué)量測儀器,服務(wù)于半導(dǎo)體材料和器件的自動化檢測需求。誠摯地歡迎產(chǎn)品垂詢,共同探索半導(dǎo)體材料檢測技術(shù)的未來可能。

免責(zé)聲明

  • 凡本網(wǎng)注明“來源:化工儀器網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,并注明“來源:化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
  • 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源(非化工儀器網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責(zé),不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時,必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,并自負版權(quán)等法律責(zé)任。
  • 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題,請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
企業(yè)未開通此功能
詳詢客服 : 0571-87858618
日韩精品一区二区三区粉嫩av-欧美亚洲国产中文字幕| 性激烈欧美三级在线播放-久久中文字幕人妻少妇| 欧美视频在线观看国产专区-亚洲91精品在线观看| 一区二区三区女同性恋-熟妇高潮一区二区高清网络视频| 一区二区三区日本韩国欧美-日本1区2区3区4区在线观看| 亚洲精品蜜桃在线观看-国产欧美日韩在线观看精品观看| 黄色91av免费在线观看-欧美黄片一级在线观看| 蜜臀一区二区三区精品在线-99久久久精品免费看国产| 午夜福利院免费在线观看-久久精品日产第一区二区三区画质| 亚洲欧美另类综合偷拍-婷婷社区综合在线观看| 亚洲av成人一区国产精品网-国产偷_久久一级精品a免费| 亚洲产国偷v产偷v自拍性色av-亚洲欧美日韩国产三区| 亚洲福利视频免费观看-中文字幕日本不卡一区二区| 99久热精品免费观看四虎-亚洲天堂精品视频在线| 日韩精品人妻系列一区-亚洲女同性一区二区三区| 国产美女网站在线观看-国产精品亚洲综合网69| 亚洲愉拍自拍欧美精品app-亚洲一区不卡在线视频| 国产欧美日本一区二区-一区二区三区亚洲在线播放| 青青操视频在线观看国产-欧美成人乱码在线观看| 午夜福利院免费在线观看-久久精品日产第一区二区三区画质| 日韩二级视频在线观看-美女扒开奶罩露出奶子的视频网站| 久久99国产综合精品女人-日韩一区二区三区在线不卡| 国产精品v欧美精品v日韩精品-国产欧美日韩精品区一区二污污污| mm在线精品视频在线观看-欧美国产日韩在线一区二区三区| 日本高清二区视频久二区-大香蕉在线视频大香蕉在线视频| 中文字幕精品一区二区日本99-青青国产成人久久91网| 亚洲精品一区网站在线观看-黄页视频免费观看网站| 国产午夜精品理论片A级漫画-久久精品国产99亚洲精品| 99久热精品免费观看四虎-亚洲天堂精品视频在线| 日韩精品亚洲不卡一区二区-成人网在线视频精品一区二区三区| 国产欧美日韩中文字幕在线-国产伊人一区二区三区四区| av网址在线直接观看-黄色av全部在线观看| 亚洲国产中文欧美一区二区三区-国产精品一区二区视频成人| 精品国产综合一区二区三区-蜜臀一区二区三区刺激视频| 成人免费资源在线观看-欧美国产日韩高清在线综合| 欧美成人精品巨臀大屁股-亚洲综合欧美日韩一区| 日本韩国亚洲欧美三级-日本东京不卡网一区二区三区| 99久热精品免费观看四虎-亚洲天堂精品视频在线| 国产精品一区二区在线免费-久久精品国产亚洲av热明星| 国产在线一区二区三区欧美-久久偷拍精品视频久久| 一级小黄片在线免费看-亚洲欧美午夜情伊人888|