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MKS傅立葉紅外氣體分析儀是一種高性能的氣體分析儀器，用于檢測(cè)和測(cè)量氣體樣品中的成分。其關(guān)鍵部件包括光源、光學(xué)系統(tǒng)、樣品室、檢測(cè)器、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等。下面將分別介紹這些關(guān)鍵部件的功能和特點(diǎn)。
1、光源：光源是MKS傅立葉紅外氣體分析儀中的一個(gè)重要部件，用于產(chǎn)生紅外輻射。光源通常采用穩(wěn)定的紅外輻射源，例如熱電偶或紅外發(fā)射二極管。光源的穩(wěn)定性和強(qiáng)度直接影響到檢測(cè)的準(zhǔn)確性和靈敏度。
2、光學(xué)系統(tǒng)：光學(xué)系統(tǒng)主要包括光路、濾光片和反射鏡等組件，用于引導(dǎo)和整理紅外輻射，確保其能夠準(zhǔn)確地照射到樣品室中的氣體樣品。優(yōu)質(zhì)的光學(xué)系統(tǒng)可以提高分辨率和靈敏度。
3、樣品室：樣品室是用于放置氣體樣品的區(qū)域。在MKS傅立葉紅外氣體分析儀中，樣品室通常采用密閉設(shè)計(jì)，以避免外部干擾和氣體泄漏。樣品室的溫度、壓力和濕度等參數(shù)需要嚴(yán)格控制，以確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
4、檢測(cè)器：檢測(cè)器是用于測(cè)量被樣品室中氣體吸收的光強(qiáng)度的部件。通常采用紅外探測(cè)器，例如熱電偶探測(cè)器或半導(dǎo)體探測(cè)器。檢測(cè)器的靈敏度和響應(yīng)速度對(duì)其性能至關(guān)重要。
5、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)：數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)用于接收、處理和分析檢測(cè)器輸出的信號(hào)，并計(jì)算出氣體樣品中各種成分的濃度。數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)通常配備了先進(jìn)的算法和軟件，可以實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和數(shù)據(jù)記錄。
6、控制系統(tǒng)：控制系統(tǒng)用于控制整個(gè)分析儀的運(yùn)行和參數(shù)設(shè)置?？刂葡到y(tǒng)通常包括溫度、壓力和流量控制等功能，以確保分析過程穩(wěn)定可靠。
總的來說，MKS傅立葉紅外氣體分析儀的關(guān)鍵部件主要包括光源、光學(xué)系統(tǒng)、樣品室、檢測(cè)器、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)和控制系統(tǒng)，它們共同作用，實(shí)現(xiàn)了對(duì)氣體樣品成分的高精度分析和監(jiān)測(cè)。
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