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光刻烤膠機可長時間持續(xù)穩(wěn)定工作，適用于各種光刻工藝需求，確保烘膠效果和質(zhì)量。其緊湊的外形設計和觸摸屏參數(shù)設置使操作方便，是實驗室和制程工作的可靠選擇。
光刻烤膠機的操作步驟：
1、檢查烤膠機的溫度控制系統(tǒng)是否正常，包括加熱板的溫度均勻性和穩(wěn)定性。確認設備的通風和排氣系統(tǒng)是否暢通，以防止有害氣體的積聚。
2、對涂有感光膠的硅片進行視覺檢查，排除表面有明顯的污漬或損傷。將硅片放置在烤膠機的加熱板上，注意要輕放以避免造成膠層的不均勻或氣泡的產(chǎn)生。確保硅片與加熱板的良好接觸，以保證熱量能夠均勻傳遞。
3、溫度控制是烤膠過程中的關鍵。前烘的溫度設置在較低的水平，目的是慢慢驅(qū)除膠層中的溶劑，避免溶劑過快蒸發(fā)導致膠層出現(xiàn)針孔或裂紋。后烘的溫度則需要根據(jù)感光膠的型號和特性來設定，通常比前烘的溫度要高，以確保曝光后的圖案能夠固定下來。烤膠時間需要根據(jù)膠層的厚度和所需的固化程度來設定。
4、烤膠完成后，小心地將硅片從烤膠機上取下，并對其進行冷卻處理。冷卻后的硅片可以進行后續(xù)的光刻曝光和顯影處理。
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