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靜電吸盤/陶瓷加熱器
通過將金屬電極放置在陶瓷內(nèi)部并將它們燒結(jié)在一起，可以制造靜電吸盤和陶瓷加熱器。
我們擁有一系列靜電吸盤/陶瓷加熱器，可充分利用各種材料技術(shù)來滿足用戶需求。我們根據(jù)等離子體環(huán)境領(lǐng)域和電子束使用領(lǐng)域等應(yīng)用提供從開發(fā)到原型設(shè)計階段的產(chǎn)品。
特點(diǎn)/應(yīng)用
(1) 帶加熱器靜電吸盤(ESC/加熱器)
[材質(zhì)：AlN（氮化鋁）]
通過控制AlN的體積電阻率，可以獲得較寬的溫度范圍和足夠的吸附能力。
通過高度靈活的加熱器設(shè)計可以實(shí)現(xiàn)出色的溫度均勻性。
由于AlN和電極是一體燒結(jié)的，因此不會因電極劣化而隨時間發(fā)生變化。
還提供采用粘合技術(shù)的陶瓷空心結(jié)構(gòu)。
(2)靜電吸盤(ESC)
[材質(zhì)：Al 2 O 3 (氧化鋁)]
?采用層壓技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高的面內(nèi)溫度均勻性。
?通過使用高純度氧化鋁，可以減少金屬污染。
?在鹵素氣體等離子環(huán)境下具有優(yōu)異的耐久性。
[材質(zhì)：噴涂Al 2 O 3 ]
使用我們的氧化鋁噴涂技術(shù)可以形成致密的絕緣層。
與氧化鋁板型相比，其制造成本更低。
與更便宜的薄膜類型相比，它具有更高的耐用性。
(3)陶瓷加熱器
[材質(zhì)：AlN（氮化鋁）]
通過使用高導(dǎo)熱率的AlN，可以實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的溫度均勻性（±0.3%）。
我們擁有IR相機(jī)、TC晶圓等特色檢測環(huán)境。
技術(shù)介紹
◆12英寸卡盤平面度精度
平整度0.2μm以下
◆形狀控制
根據(jù)晶圓形狀形成卡盤形狀（凹凸控制）。
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