真空鍍膜機SC-701MkII在薄膜生產(chǎn)上的運用
真空鍍膜技術(shù)應用行業(yè)近年來發(fā)展迅速,在各個行業(yè)都有廣泛的應用。真空鍍膜技術(shù)用于表面改性和保護,以及提高產(chǎn)品的性能。該行業(yè)在設備、材料和工藝方面取得了重大進步,這導致了新涂層技術(shù)和應用的發(fā)展。在可再生能源行業(yè),真空鍍膜技術(shù)用于生產(chǎn)薄膜太陽能電池和節(jié)能照明。該技術(shù)還用于燃料電池和蓄電池的開發(fā)。真空鍍膜技術(shù)的另一個重要應用是在電子設備的生產(chǎn)中。涂層可應用于半導體、顯示器和其他電子元件,以提高其性能和耐用性。該行業(yè)還在探索將真空鍍膜技術(shù)用于柔性電子產(chǎn)品的生產(chǎn),這可能在可穿戴技術(shù)和其他領域有大量應用。總體而言,真空鍍膜技術(shù)應用行業(yè)是由對能夠滿足各行業(yè)需求的高性能材料的需求驅(qū)動的。隨著設備、材料和工藝的進步,該行業(yè)有望持續(xù)增長和創(chuàng)新。進一步研發(fā)的機會不勝枚舉,真空鍍膜技術(shù)潛力巨大。(1)微電子篇:真空鍍膜技術(shù)廣泛應用于微電子行業(yè),用于制造集成電路、平板顯示器和其他電子設備。使用真空鍍膜技術(shù)沉積的薄膜具有多種功能,例如絕緣、導電和防止環(huán)境退化。真空鍍膜技術(shù)用于制造金屬、電介質(zhì)、半導體和其他材料的薄膜,這些材料是電子設備的關(guān)鍵部件。(2)光學篇:真空鍍膜技術(shù)也廣泛應用于光學行業(yè),用于制造光學鍍膜、反射鏡、透鏡和濾光片。光學涂層提供各種功能,例如抗反射、高反射率和波長選擇性。真空鍍膜技術(shù)用于沉積金屬、電介質(zhì)和半導體等材料的薄膜,這些材料用于制造光學鍍膜和其他光學元件。(3)能源篇:真空鍍膜技術(shù)還用于能源行業(yè),用于制造太陽能電池、燃料電池和其他能量轉(zhuǎn)換裝置。使用真空鍍膜技術(shù)沉積的薄膜具有多種功能,例如光吸收、電荷分離和電催化。真空鍍膜技術(shù)用于沉積金屬、半導體和陶瓷等材料的薄膜,這些材料是能量轉(zhuǎn)換設備的關(guān)鍵部件。(4)生物醫(yī)學篇:真空鍍膜技術(shù)還用于生物醫(yī)學行業(yè),用于制造植入式醫(yī)療設備、藥物輸送系統(tǒng)和診斷工具。使用真空鍍膜技術(shù)沉積的薄膜具有多種功能,例如生物相容性、藥物釋放和生物傳感。真空鍍膜技術(shù)用于沉積金屬、陶瓷和聚合物等材料的薄膜,這些材料是生物醫(yī)學設備和系統(tǒng)的關(guān)鍵部件。(5)航天篇:真空鍍膜技術(shù)還用于航空航天工業(yè),用于制造航天器部件,例如熱控制涂層、輻射屏蔽和推進系統(tǒng)。使用真空鍍膜技術(shù)沉積的薄膜具有多種功能,例如散熱、輻射屏蔽和耐腐蝕。真空鍍膜技術(shù)用于沉積金屬、陶瓷和聚合物等材料的薄膜,這些材料是航天器和航空航天系統(tǒng)的關(guān)鍵部件??傊?,真空鍍膜技術(shù)在各行各業(yè)都有著大量的應用,并且在新興技術(shù)的發(fā)展中繼續(xù)發(fā)揮著越來越重要的作用。通過精確控制薄膜特性和結(jié)構(gòu)來沉積薄膜的能力使真空鍍膜技術(shù)成為許多先進材料和設備的關(guān)鍵組成部分。(6)電子篇:真空鍍膜技術(shù)在電子應用中起著至關(guān)重要的作用,包括微電子、光電子和傳感器技術(shù)。該技術(shù)能夠在精確控制薄膜特性和結(jié)構(gòu)的情況下沉積薄膜,提供廣泛的功能,包括導電性、絕緣性、耐腐蝕性和光學特性。(7)光學篇:真空鍍膜技術(shù)是光學工業(yè)生產(chǎn)高性能光學鍍膜的重要工具。通過精確控制材料的厚度和折射率的薄膜涂層來實現(xiàn)多種光學功能,例如減反射、高反射率、彩色濾光片、分束器和二向色鏡。這些涂層用于各種光學應用,包括相機鏡頭、眼鏡、望遠鏡、顯微鏡和激光光學器件。(8)新能源:真空鍍膜技術(shù)在新能源技術(shù)的開發(fā)和生產(chǎn)中起著至關(guān)重要的作用,特別是在太陽能光伏、儲能和節(jié)能照明領域。具有特定光學和電學特性的薄膜涂層用于提高太陽能電池、電池和發(fā)光二極管 (LED) 等設備的性能和耐用性。太陽能光伏是真空鍍膜技術(shù)在新能源領域最有前景的應用之一。具有特定光學特性的薄膜涂層用于通過增加光吸收和減少反射損失來提高太陽能電池的性能。特別是硅、碲化鎘和硒化銅銦鎵等高光吸收材料薄膜的真空沉積,可以生產(chǎn)性能和耐用性更高的高效太陽能電池。(9)汽車行業(yè):真空鍍膜技術(shù)已成為汽車行業(yè)中越來越重要的工具,有助于開發(fā)高性能和耐用的車輛部件。該技術(shù)用于在各種汽車部件(包括發(fā)動機部件、懸架部件和外飾件)上沉積具有特定性能(例如耐腐蝕性、耐磨性和熱穩(wěn)定性)的材料薄膜。這些涂料可以提高汽車部件的性能和耐久性,降低維護成本,提升車輛的整體價值和吸引力。
兼容Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金屬的高規(guī)格緊湊型鍍膜機。
特征
DC 濺射類別中最小的超緊湊型號。
配備皮拉尼真空計,確保成膜條件的再現(xiàn)性
標準配備手動快門
使用專用的樣品臺和載物臺可以輕松改變 TS 之間的距離。
可以進行鎢涂層,因此也可用于制備高分辨率 SEM 樣品。
用途和結(jié)果示例
將電極膜粘貼到各種設備上
用于反射薄膜生產(chǎn)等。
基本規(guī)格
陰極 | φ2英寸直流磁控管/扁平電極 |
適用對象 | Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al |
壓力測量 | 皮拉尼真空計 |
壓力控制 | 帶針閥手動控制 入口直徑 φ6mm 一觸式接頭 |
工藝氣體 | 氬氣 |
真空泵 | 直聯(lián)旋轉(zhuǎn)泵:20L/min(帶自動泄漏) |
腔室尺寸 | 內(nèi)徑φ90×D90mm(SUS材質(zhì)) |
樣品交換方式 | 前門開閉方式 |
尺寸(寬/深/高) | 機身:160/450/290mm 轉(zhuǎn)速:295.5/156/199.5mm |
重量 | 本體:9kg RP:9kg |