賀德克壓力傳感器

是利用單晶硅的壓阻效應而構(gòu)成。采用單晶硅片為彈性元件，在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝，在單晶硅的特定方向擴散- -組等值電阻，并將電阻接成橋路，單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。當壓力發(fā)生變化時，單晶硅產(chǎn)生應變，使直接擴散在上面的應變電阻產(chǎn)生與被測壓力成正比的變化，再由橋式電路茅應的電壓輸出信號。

　　賀德克壓力傳感器的分類:

　　多傳感器信息融合技術(shù)的基本原理就像人的大腦綜合處理信息的過程一樣，將各種傳感器進行多層次、多空間的信息互補和優(yōu)化組合處理，較終產(chǎn)生對觀測環(huán)境的一致性角釋。在這個過程中要充分地利用多源數(shù)據(jù)進行合理支配與使用，而信息融合的較終目標則是基于各傳感器獲得的分離觀測信息，通過對信息多級別、多方面組合導出更多有信息。這不僅是利用了多個傳感器相互協(xié)同操作的優(yōu)勢，而且也綜合處理了其它信息源的數(shù)據(jù)來提高整個傳感器系統(tǒng)的智能化

　　壓力傳感器是使用較為廣泛的-種傳感器。傳統(tǒng)的壓力傳感器以機械結(jié)構(gòu)型的器件為主，以彈性元件的形變指示壓力，但這種結(jié)構(gòu)尺寸大、質(zhì)堡重，不能提供電學輸出。阻著半導體技術(shù)的發(fā)展，半導體壓力傳感器也應運而生。其特點是體積小、質(zhì)童輕、準確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，半導體傳感器向著微型化發(fā)展，而且其功耗小、可靠性高。

　　擴散硅壓力變送器是把帶隔離的硅壓阻式壓力敏感元件封裝于不銹鋼殼體內(nèi)制作而成。它能將感受到的液體或氣體壓力轉(zhuǎn)換成標準的電信號對外輸出，DATA-52系列擴散硅壓力變送器廣泛應用于供/排水、熱力、石油、化工、冶金等工業(yè)過程現(xiàn)場測量和控制。

　　賀德克壓力傳感器的工作原理

　　1、壓阻式壓力傳感器

　　電阻應變片是壓阻式應變傳感器的主要組成部分之一。 金屬電阻應變片的工作原理是吸附在基體材料上應變電阻隨機械形變而產(chǎn)生阻值變化的現(xiàn)象，俗稱為電阻應變效應。

　　2、陶瓷壓力傳感器.

　　陶瓷壓力傳感器基于壓阻效應，壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面，使膜片產(chǎn)生微小的形變，厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面，連接成一個惠斯通電橋， 由于壓敏電阻的日阻效應，使電橋產(chǎn)生-個與壓力成正比的高度線性、與激勵電壓也成正比的電壓信號，標準的信號根據(jù)壓力量程的不同為2.0/3. 0/3. 3mV/VI等，可以和應變式傳感器相兼。

　　3、擴散硅壓力傳感器:

　　擴散硅壓力傳感器工作原理也是基于壓阻效應，利用壓阻效應原理，被測介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上不銹鋼或陶瓷)，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻值發(fā)生變化，利用電子線路檢測這一變化， 并轉(zhuǎn)換輸出一個對應于這-壓力的標準測量信號。

　　4、藍寶石壓力傳感器:

　　利用應變電阻式工作原理，采用硅一藍寶石作為半導體敏感元件，具有*的計童特性。因此，利用硅-藍寶石制造的半導體敏感元件，對溫度變化不敏感，即使在高溫條件下，也有著很好的工作特性:藍寶石的抗輻射特性:另外，硅藍寶石半導體敏感元件，無p-n漂移。

　　5、壓電式壓力傳感器:

　　壓電效應是壓電傳感器的主要工作原理，壓電傳感器不能用于靜態(tài)測量，因為經(jīng)過外力作用后的電荷，只有在回路具有無限大的輸入阻抗時才得到保存。實際的情況不是該樣的，以這決定了壓電傳感器只能夠測量動態(tài)的應力。