Metrology Sensors GmbH開發(fā)和制造尖duan技術(shù)，以提高顯微鏡自動化和AOI系統(tǒng)的吞吐量和質(zhì)量。MSG的解決方案包括用于2D和3D表面的高速自動對焦系統(tǒng)、尺寸測量傳感器、電機控制和光電組件。MSG的技術(shù)應用于各種行業(yè)，包括半導體、晶圓和電子產(chǎn)品的自動光學檢測、顯示檢測和修復系統(tǒng)以及生物醫(yī)學視覺系統(tǒng)。

MSG為其發(fā)揮的關鍵作用感到自豪，無論是在基礎研究、提高生產(chǎn)效率還是通過直接向最終用戶提供解決方案進行質(zhì)量檢查，還是為OEM供應商提供嵌入式技術(shù)。

◆自動對焦傳感器: 基于激光的焦點跟蹤系統(tǒng)

LAF傳感器旨在實現(xiàn)光學檢測設備和工業(yè)顯微鏡的實時焦點跟蹤。該傳感器廣泛用于平板顯示器、電子器件和半導體的AOI系統(tǒng)

我們的技術(shù)可實現(xiàn)以下焦點跟蹤：

無圖案表面

具有高對比度變化的圖案表面

具有高倍率透鏡的最小結(jié)構(gòu)

獨te功能：

混合激光/圖像跟蹤

三明治基板的多表面聚焦

自動設置

參考型號: LAF4、LAF5、LAF5-CH

◇LAF5直線激光自動聚焦跟蹤系統(tǒng)：

用于自動光學檢測（AOI）系統(tǒng)和工業(yè)顯微鏡的自動聚焦和跟蹤

傳感器投射一條激光線聚焦在樣品上

適用于放大倍率為2倍至100倍的無限校正透鏡，可見光、近紅外、NUV、DUV

UI界面和軟件庫

◆電機驅(qū)動器接口：

為了能夠?qū)?span>MSG的自動對焦傳感器快速簡單地集成到現(xiàn)有的機器設計中，MSG為步進電機和伺服電機驅(qū)動器提供了優(yōu)化的控制，以實現(xiàn)最佳性能的閉環(huán)系統(tǒng)。

LAF-C2電機接口

LAF-C3電機接口與照明端口

◇LAF-C2用于LAF自動聚焦和跟蹤傳感器的步進/伺服電機驅(qū)動接口

單個連接到LAF傳感器，從MSG自動對焦到您的機器的所有連接都通過LAF-C2

雙向脈沖輸出電流源，用于驅(qū)動步進/伺服驅(qū)動器的光隔離器

高質(zhì)量聚焦信號的模擬輸出

可選：

模擬輸出給出距離信號或

具有未來的可配置速度信號

固件發(fā)布（控制伺服驅(qū)動器）

限位開關和安全停止的輸入

RS232，用于與PC進行傳感器通信

◇LAF5S-C2：1xLAF5傳感器&1xLAF-C2步進/伺服驅(qū)動控制器。

德國MSG、MSG傳感器、MSG伺服驅(qū)動器、MSG控制器、