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一、定義與原理
層流壓差質(zhì)量流量計是基于哈根泊肅葉定律設(shè)計的流量測量儀器。該定律指出，在溫度、管徑等參數(shù)一定的情況下，圓管內(nèi)的不可壓縮流體在層流運動狀態(tài)時，其體積流量與壓降之間存在線性關(guān)系。通過讀取層流元件兩端的壓差信號，可以計算出體積流量，再經(jīng)過壓力和溫度修正后，即可獲得標準體積流量和質(zhì)量流量。
二、應(yīng)用領(lǐng)域
層流壓差質(zhì)量流量計在高端制造業(yè)中具有廣泛的應(yīng)用，包括但不限于：
半導(dǎo)體制造：用于擴散、氧化、外延、等離子刻蝕、濺射、氣相沉積等工藝設(shè)備中，測量和控制工藝氣體流量。
生物科技：用于生產(chǎn)過程中的滅菌工藝、配料、配氣、排氣檢測及生物反應(yīng)器等流量測控。
環(huán)境分析：用于氣相色譜儀和環(huán)境保護等分析儀器中，進行氣體取樣量或大氣采集量的精密測量。
機械構(gòu)件測試：用于閥門等機械構(gòu)件氣密性指標的氣體泄漏量精密測量，以及小孔尺寸和過濾材料透氣性等的測量。
微型試驗裝置：用于微型反映試驗裝置中微小氣體流量的測量和控制。
表面處理：用于真空鍍膜、汽車玻璃鍍膜、自動化噴漆、等離子體噴涂等工藝中，對氣體進行精密測量和控制。
三、優(yōu)勢特點
多氣體任意切換：層流壓差質(zhì)量流量計可以實現(xiàn)多氣體任意切換，且不需要轉(zhuǎn)換系數(shù)。這是因為氣體的體積流量和壓差以及氣體的粘性線性相關(guān)，只要知道測控氣體的粘性，就能得出氣體的體積流量。
響應(yīng)速度快：層流壓差質(zhì)量流量計的響應(yīng)時間非?？欤P(guān)鍵在于層流元件兩端壓差信號的獲取速度，這個時間取決于壓力波的傳播速度(壓力波是聲波的一種)。
高精度：由于氣體的體積流量和壓差是一個趨近于線性相關(guān)的關(guān)系，因此層流壓差質(zhì)量流量計的精度非常高。
高重復(fù)性：層流壓差質(zhì)量流量計的重復(fù)性取決于流態(tài)的穩(wěn)定，常規(guī)環(huán)境中氣體是呈湍流狀態(tài)運動，而層流壓差質(zhì)量流量計通過層流元件讓氣體做層流運動，層流氣體的流態(tài)穩(wěn)定，因此重復(fù)性高。
無需預(yù)熱：與熱式質(zhì)量流量計不同，層流壓差質(zhì)量流量計無需預(yù)熱即可開始正常工作，這為用戶節(jié)省了時間并提高了效率。
四、市場與發(fā)展
盡管目前熱式質(zhì)量流量計在市場上占有率較高，但層流壓差質(zhì)量流量計作為一條全新的技術(shù)路線，在部分性能上較熱式質(zhì)量流量計具有明顯優(yōu)勢。隨著半導(dǎo)體、新能源等制造業(yè)的快速發(fā)展，層流壓差質(zhì)量流量計的應(yīng)用前景將更加廣闊。同時，國內(nèi)廠商也在不斷努力研發(fā)和創(chuàng)新，以提高層流壓差質(zhì)量流量計的性能和降低成本，以滿足更多行業(yè)的需求。
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