技術參數(shù):
數(shù)值孔徑是物鏡性能的重要指標,決定了顯微鏡的分辨率。NA值越大,分辨率越高,但視場寬度和工作距離會相應減小。
分辨率是顯微鏡能夠區(qū)分兩個相鄰點的能力,通常由NA和照明波長決定。
放大率:放大率由物鏡和目鏡的放大倍數(shù)決定,總放大倍率為物鏡放大倍數(shù)與目鏡放大倍數(shù)的乘積。
焦深是指在顯微鏡中,當焦點對準某一物體時,上下一定厚度內能清晰看到的范圍。焦深與NA成反比,NA越大,焦深越淺。
工作距離是指物鏡前端到工件表面的距離。數(shù)值孔徑越大,工作距離越短。
等焦點距離是指物鏡安裝位置到工件表面的距離,用于實現(xiàn)最佳聚焦。
按測量原理分類:光學顯微鏡:利用可見光成像,適用于觀察細胞、組織等生物樣品。電子顯微鏡:利用電子束成像,適用于納米級材料和科學領域的高分辨率測量。激光掃描共聚焦顯微鏡(LSM) :結合光學顯微鏡和激光掃描技術,提供三維成像能力。
按用途分類:
工業(yè)顯微鏡:用于工業(yè)檢測和質量控制。
數(shù)碼顯微鏡:通過攝像頭采集圖像,適合制造業(yè)和科研領域。
金相顯微鏡:用于觀察金屬表面結構和微觀缺陷。
三維測量顯微鏡:結合光學顯微鏡和先進測量技術,適用于精密測量。
按結構分類:
倒置顯微鏡:適用于培養(yǎng)皿中的細胞觀察。
正立顯微鏡:適用于固定樣品的觀察。
萬能工具顯微鏡:結合光柵測量原理,實現(xiàn)自動記數(shù)和測量。
按測量功能分類
長度測量顯微鏡:用于測量線性尺寸。
角度測量顯微鏡:用于測量角度。
表面粗糙度測量顯微鏡:用于測量表面粗糙度。
應用領域:
測量顯微鏡廣泛應用于生物醫(yī)學、納米技術、材料科學、半導體工業(yè)等領域。例如:在生物醫(yī)學領域,用于觀察細胞結構和組織切片。在材料科學領域,用于分析材料表面和微觀結構。在半導體工業(yè)中,用于檢測芯片上的微小缺陷。
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