Twyman-Green型干涉（泰曼-格林干涉）的測量原理基于光的干涉現(xiàn)象，特別是相干光的疊加原理。以下是對其測量原理的詳細解釋：

一、基本原理

當兩束相干光波在空間某點相遇時，它們會相互疊加并產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。干涉圖樣的特點是明暗相間的干涉條紋，這些條紋的間距和強度取決于光的波長和光束之間的相位差。

二、干涉儀結構

泰曼-格林干涉儀通常由以下主要部分組成：

光源：一般采用單色光源，如激光，以確保發(fā)出的光是單色光，從而進行精確的波長測量和干涉圖樣觀察。

分束器：是干涉儀的核心部件之一，用于將入射光束分為兩束相干光束。分束器通常采用半透半反鏡或雙折射晶體制成。

參考臂和測量臂：被分束器分開的兩束相干光束分別進入?yún)⒖急酆蜏y量臂。參考臂通常包含一段已知的路徑長度，用于提供穩(wěn)定的參考光波；測量臂則與被測物體相互作用，其光程長度會發(fā)生變化，這是由于被測物體對光的折射、衍射或散射作用造成的。

檢測器：用于檢測干涉圖樣，并將干涉信號轉化為電信號輸出，以便進行后續(xù)的數(shù)據(jù)處理和分析。

三、測量原理

相位差與干涉圖樣：當兩束光在干涉點相遇時，如果它們的相位差是波長的整數(shù)倍，則會產(chǎn)生加強干涉，表現(xiàn)為亮條紋；如果相位差是半波長的奇數(shù)倍，則會產(chǎn)生削弱干涉，表現(xiàn)為暗條紋。通過觀察干涉圖樣，可以分析被測物體的特性，如折射率、厚度等。

測量過程：在測量過程中，激光首先經(jīng)過分束器分成兩束光線，一束光線經(jīng)過參考鏡反射后再次回到分束器，另一束光線則經(jīng)過被測物體后也回到分束器。當兩束光線再次相遇時，它們會發(fā)生干涉現(xiàn)象，并在檢測器上形成干涉圖樣。通過處理和分析干涉圖樣中的明暗條紋及其變化，可以計算出被測物體的表面形貌、薄膜厚度等參數(shù)。

四、應用

泰曼-格林干涉儀在科學研究、工業(yè)制造和質量控制等領域具有廣泛的應用價值。例如，在科學研究中，它可用于研究物體表面形貌的微小變化，如微米級別的表面粗糙度、納米級別的表面平整度等；在工業(yè)制造領域，它可用于薄膜厚度的測量，如光學薄膜、電鍍薄膜等；在質量控制方面，它可用于產(chǎn)品的檢測和評估，如電子元件的制造、光學元件的加工等。

綜上所述，Twyman-Green型干涉（泰曼-格林干涉）的測量原理基于光的干涉現(xiàn)象和相干光的疊加原理。通過分析和處理干涉圖樣中的明暗條紋及其變化，可以實現(xiàn)對被測物體表面形貌、薄膜厚度等參數(shù)的精確測量。

TopMap Micro View白光干涉3D輪廓儀

一款可以“實時”動態(tài)/靜態(tài) 微納級3D輪廓測量的白光干涉儀

1)一改傳統(tǒng)白光干涉操作復雜的問題，實現(xiàn)一鍵智能聚焦掃描，亞納米精度下實現(xiàn)優(yōu)秀的重復性表現(xiàn)。

2)系統(tǒng)集成CST連續(xù)掃描技術，Z向測量范圍高達100mm，不受物鏡放大倍率的影響的高精度垂直分辨率，為復雜形貌測量提供全面解決方案。

3）可搭載多普勒激光測振系統(tǒng)，實現(xiàn)實現(xiàn)“動態(tài)”3D輪廓測量。

實際案例

1，優(yōu)于1nm分辨率，輕松測量硅片表面粗糙度測量，Ra=0.7nm

2，毫米級視野，實現(xiàn)5nm-有機油膜厚度掃描

3，優(yōu)秀的“高深寬比”測量能力，實現(xiàn)光刻圖形凹槽深度和開口寬度測量。