精密平臺(tái)是可以在X、Y方向或者旋轉(zhuǎn)方向上精確移動(dòng)的平臺(tái)。

可移動(dòng)軸的數(shù)量根據(jù)型號(hào)不同而不同，有各種類型的精密平臺(tái)可供選擇，從1軸到4軸或更多。

平臺(tái)由小螺距進(jìn)給絲杠移動(dòng)，千分尺或帶減速器的電機(jī)使工作臺(tái)以微米級(jí)移動(dòng)，適合觀察極小的樣品。

雖然平臺(tái)可以精確移動(dòng)，但運(yùn)動(dòng)范圍很小，只有幾厘米，因此不適合需要平臺(tái)大幅度移動(dòng)的應(yīng)用。

精密平臺(tái)的應(yīng)用

精密平臺(tái)允許沿每個(gè)軸（包括 X、Y、Z 和其他三個(gè)旋轉(zhuǎn)軸）進(jìn)行精確和獨(dú)立的移動(dòng)，并且用于需要精確控制樣品位置的情況。

可用作觀察半導(dǎo)體元件等微小物體的顯微鏡載物臺(tái)、固定加工機(jī)進(jìn)行精密加工的工件的載物臺(tái)、檢查光學(xué)鏡頭時(shí)用于對(duì)準(zhǔn)光軸的檢查載物臺(tái)、或用于連接具有高精度定位的部件的載物臺(tái)。

精密平臺(tái)的原理

精密平臺(tái)是高精度的線性導(dǎo)軌、進(jìn)給絲杠、以及使進(jìn)給絲杠旋轉(zhuǎn)的千分尺或帶減速器的電動(dòng)機(jī)構(gòu)成，這些機(jī)構(gòu)的數(shù)量與可動(dòng)軸的數(shù)量相同。當(dāng)進(jìn)給螺桿伸出一次時(shí)，平臺(tái)就會(huì)移動(dòng)螺桿的螺距（約幾十分之一毫米）。

使用千分尺時(shí)，可以通過讀取千分尺上刻制的特殊刻度來確定移動(dòng)量。

使用電機(jī)時(shí)，電機(jī)內(nèi)部裝有旋轉(zhuǎn)編碼器。，檢測旋轉(zhuǎn)次數(shù)，從而控制平臺(tái)的移動(dòng)量。

根據(jù)應(yīng)用情況，精密平臺(tái)有多種產(chǎn)品可供選擇，從僅具有 X 軸的單軸平臺(tái)，到具有 X 和 Y 軸的雙軸平臺(tái)，再到包括 Z 軸和旋轉(zhuǎn)的三軸到六軸平臺(tái)。 6軸精密平臺(tái)可以只使用1個(gè)軸，即“以小博大”，但由于精密平臺(tái)的可動(dòng)軸越多，其價(jià)格就越高，因此建議選擇具有 低必要規(guī)格的平臺(tái)。