體積表面電阻率測試儀核心操作流程與關(guān)鍵原理
1. 設(shè)備初始化與調(diào)零
電源與預(yù)熱:
確保電源為220VAC/50Hz,接地可靠(防止漏電干擾)。
開機后預(yù)熱10分鐘,消除電路溫漂,提高穩(wěn)定性(晶振電路需熱平衡)。
調(diào)零校準:
原理:消除設(shè)備本底電流(如PCB漏電流、放大器偏置電流)。
操作:斷開所有測試線(Rx開路),電流量程置10?檔,調(diào)節(jié)調(diào)零旋鈕使顯示為“0000”。
風(fēng)險:帶負載調(diào)零會導(dǎo)致測量誤差(例:若未調(diào)零,1nA本底電流將導(dǎo)致在10?Ω量程時誤差達100%)。
2. 樣品準備與電極配置
樣品要求:
尺寸:需覆蓋整個“不保護電極”(防止邊緣漏電,常規(guī)尺寸Φ50±5mm)。
厚度測量:需用千分尺精確至±0.01mm(厚度輸入錯誤10% → 電阻率誤差10%)。
三電極系統(tǒng)原理:
被保護電極(藍色):測量主電流通路,接高阻計輸入端。
不保護電極(中間黑):施加電壓,形成均勻電場。
保護電極(左側(cè)黑):吸附邊緣雜散電流(保護環(huán)設(shè)計提升精度>10%)。
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